прибор для определения угла контакта

Серфинг HL200

Прибор для измерения угла контакта с диаметром до 8 дюймов

Кристаллическая окружностьприбор для определения угла контактаЭто точный прибор, предназначенный для оценки смачиваемости поверхности полупроводниковой кристаллической окружности, который измеряет поверхностные свойства путем измерения угла контакта (тета), образованного на границе газово - жидко - твердой трехфазной границы.

Физический фон

Поверхностное натяжение фотолитографических материалов, таких как фоторезисты и проявители, имеет значительные потенциальные последствия для самого процесса фотолитографии. Например, однородность, выравнивание и адгезия спирального покрытия напрямую зависят от характеристик поверхностного натяжения материала. Аналогичным образом, свободная энергия поверхности (SFE) покрытия также оказывает значительное влияние на его производительность.

В полупроводниковой технологии свободная энергия поверхности (SFE) фундамента и функционального слоя может систематически изучаться с помощью метода измерения угла контакта. Благодаря точному измерению угла контакта можно быстро оптимизировать новые технологические шаги и лучше стандартизировать известные процессы.

Небольшие изменения в характеристиках поверхности кристаллического круга проявляются в значительных и легко обнаруживаемых изменениях в результатах измерения угла контакта, что дает четкое руководство по совершенствованию процесса. Небольшое время, затрачиваемое на измерение угла контакта, может эффективно избежать потенциальных проблем в последующих производственных цепочках, что, в свою очередь, принесет значительные экономические выгоды. Для снижения плотности дефектов в структуре фоторезиста и достижения контроля характерных размеров менее 1 микрона важно обеспечить хорошее сцепление между фоторезистом и фундаментом. С помощью технологии измерения угла контакта можно легко и эффективно осуществлять эффективный контроль сцепления.

СЕРФТЕНС HL 200Кристаллическая окружностьприбор для определения угла контактаОсобенности

Система измерения угла контакта SURFTENS HL 200 разработана специально для полупроводниковой промышленности и научных исследований, особенно для управления процессом обработки поверхности кремниевых пластин. Это идеальный инструмент для анализа угла контакта и смачиваемости кремниевых пластин, который может эффективно удовлетворять потребности в быстром, высокоточном и удобном измерении смачиваемости кремниевых пластин.

СЕРФТЕНС HL 200прибор для измерения угла контакта кристаллического кругаОбладает следующими характеристиками:

- Компактный дизайн, экономия пространства, использование закрытой механической инфраструктуры;

- оснащены высококачественными измерительными объективами, поддерживающими фиксированное фокусное расстояние для обеспечения точности измерений;

- Встроенная камера USB - интерфейса для сбора изображений с высоким разрешением;

- Все основные компоненты интегрированы в закрытую оболочку, которая эффективно предотвращает дислокацию, вызванную внешними помехами;

- обеспечение равномерной и регулируемой яркости светодиодных систем освещения, обеспечивающих согласованность и стабильность измерительной среды;

- Кристаллическая платформа диаметром 200 мм, покрытая тефлоновым покрытием для повышения коррозионной стойкости и защиты от загрязнения;

- поддержка точной ручной настройки и позиционирования кристаллической платформы на оси X и направлении вращения (фи);

- Специальная конструкция рабочего стола для быстрого отображения распределения углов соприкосновения на кремниевых пластинах;

- Можно безопасно поместить кристаллические круги с помощью вакуумных пинцетов;

- Кристаллическая платформа имеет диапазон хода 100 мм и полный угол вращения 360° для удовлетворения разнообразных потребностей измерения;

- Результаты измерений представлены одновременно в документах протокола и видеоизображениях, что облегчает анализ в разных измерениях;

- При необходимости можно рассчитать свободную энергию поверхности в соответствии с теорией Wu / OWRK.

Конструкция обеспечивает точное измерение любой точки поверхности кристаллического круга.

Ручная ось X и ось FI кристаллической платформы оснащены точной шкалой, которая облегчает точное позиционирование в целевом положении.

Функция регулировки капельной системы выглядит следующим образом:

- Ручная ось Z: используется для регулировки положения высоты иглы;

- Ручной вал Y: используется для коррекции положения центра иглы;

- Ручной вал X: используется для точной настройки фокусировки иглы.

Система капельной жидкости может быть сконфигурирована следующим образом:

- Настройка единой ручной системы прямых капель;

- Настройка двух ручных систем прямых капель;

- Настройка единой автоматической системы управления прямыми каплями;

- Настройка двух систем прямого капельного контроля с автоматическим программным обеспечением;

- комбинированное использование ручной системы прямых капель с автоматическим программным управлением системой прямых капель.

Высокоточные автоматические измерения.

Испытательные капли (как правило, деионизированная вода) генерируются ручной или автоматической системой прямых капель. Изображения капель будут мгновенно отображаться на экране компьютера с высококачественным видео в реальном времени. Процесс измерения может быть запущен с помощью одной кнопки, а программное обеспечение может быстро вычислить угол контакта и представить результаты графически, предоставляя подробную информацию о данных. Время измерения каждой капли составляет всего 1 секунду, что значительно снижает вероятность ошибки. SURFTENS HL 200 обеспечивает высокую повторяемость и точность измерений, а также простоту работы.

Программное обеспечение для измерения

Программное обеспечение для измерения SURFTENS позволяет полностью автоматизировать точное измерение угла контакта с каплями на основе различных алгоритмов согласования формы капли. Капли могут быть автоматически идентифицированы и обнаружены с помощью технологии обработки изображений. В условиях низкой контрастности программное обеспечение предоставляет множество вспомогательных функций обнаружения капель, таких как поддержка ручной установки исходных линий и полностью ручное измерение угла контакта, определяя точку измерения на дисплее. Сфера обслуживания была дополнительно расширена за счет следующих дополнительных функций измерения и вариантов обслуживания:

Динамическое отображение значений текущего угла контакта на видеоизображении в реальном времени

- Автоматическое измерение угла контакта, изменяющегося со временем, и представление результатов измерений в виде графиков (время цикла свободно выбирается до 50 раз в секунду)

- Измерение углов переднего и заднего контакта на основе видеоизображений в реальном времени

- Измерение угла контакта слева и справа.

- Точное определение объема капли после завершения процесса распределения и размещения капли.

Программное обеспечение имеет встроенный оценочный модуль, основанный на теории OWRK / Wu, который может вычислять свободную энергию поверхности твердого тела с помощью данных о углах соприкосновения, измеряющих до пяти жидкостей.

Возможность извлечения файлов AVI из потокового видео в реальном времени чрезвычайно полезна. После этого все функции измерения и документации применяются к любому отдельному изображению во всем видео или видео.

Результаты измерений могут быть легко сохранены в записи или в видеоизображении.

Технические параметры:

- Стол для перевозки образцов: диаметр 200 мм или 300 мм, поддержка точного позиционирования X / fi

- Толщина образца: 0 - 5 мм

- Диапазон измерения угла контакта: 1° ~ 180°

- Разрешение / точность измерения угла контакта: 0,01 ° / ± 0,1 ° (при измерении в режиме реального времени на основе стандарта угла контакта)

- Оптическая система (стандартная конфигурация): 1x усиление, электрическая фокусировка

- Видеосистема (стандартная): черно - белый, USB 2.0 интерфейс, 440 мегапикселей

- Измерение угла наклона оптической системы: закрепление около 1°

- Источник света: долгоживущая световая панель

- Жидкостные блоки: отдельные ручные (стандартные); Двойная жидкостная ячейка или полностью автоматическая жидкостная система (выбор)

- Минимальный титровый объем: 0,2 мкл

- Разрешение / точность титрования: 0,1 мкл (с водой в качестве среды)

- Тип шприца: стеклянный шприц или одноразовый шприц с Luer - lock

- Операционная система: Windows