Серия электронных зондов

Рождение Grand Epma На борту новейшей полевой электронно - оптической системы Максимальное использование анализа EPMA. От условий наблюдения SEM до порядка 1 мкА, современные полевые электронно - оптические системы с непревзойденным превосходным пространственным разрешением в различных условиях пучка. В сочетании с традиционным высокопроизводительным рентгеновским спектрометром Симадзу аналитические характеристики максимизируются. Заслуженная « The Grand EPMA», рождение самого высокого уровня EPMA!

Непревзойденное пространственное разрешение.

Используйте анализ условного потока пучка, чтобы гордиться разрешением вторичного электронного изображения No.1. (При ускорении напряжения 10 кВ, 20nm@10nA / / 50nm@100nA / 150nm@1 μA）。 По сравнению с результатами оригинальной электронной пушки (CeB6, вольфрамовая проволока), с первого взгляда.

Поскольку изображения с тем же разрешением, что и оригинальная электронная пушка, могут быть получены с помощью большего потока пучка, рентгеновский анализ с очень высокой чувствительностью может быть выполнен. Еще более примечательным является SEM - изображение, когда поток пучка составляет 1 мкА. Потоки пучка могут достигать более 1 мкА и могут быть сжаты до такой тонкости только EPMA - 8050G.

Сопоставление характеристик различных электронных пушек, генерирующих электронный луч (напряжение ускорения 10 кВ)

сверхчувствительный анализ больших пучковых потоков

SEM, EPMA, тип полевой эмиссии, обеспечивает большие потоки пучка, которые не могут быть достигнуты другими приборами (до 3 мкА при ускоренном напряжении 30 кВ). Качественный скачок был достигнут в чувствительности обнаружения сверхмикроэлементов, визуализация распределения компонентов сверхмикроэлементов при анализе поверхности элемента стала реальностью. Кроме того, во всех диапазонах пучка нет необходимости заменять объективную диафрагму, совершенно не беспокоясь о слиянии осей, для достижения высокой степени автоматизации анализа.

Три изображения поверхности являются результатом анализа поверхности около 1% Si в нержавеющей стали под различными пучками. Чем больше поток пучка, тем меньше отклонение, тем более четко можно подтвердить диапазон, содержащий Si.

Аналитические условия: ускоренное напряжение 10 кВ, интегральное время 50 мсек. Анализ занимает около часа.

Он может быть оснащен 5 - канальным высокопроизводительным 4 - дюймовым рентгеновским спектрометром одновременно.

Угол извлечения рентгеновских лучей определяет аналитические свойства, 52,5 ° лучше

Чем меньше поглощаются рентгеновские лучи, тем выше их чувствительность.	Высокий угол извлечения рентгеновских лучей может уменьшить влияние поглощения и может анализировать инородное тело на дне глубоких отверстий и в отверстиях.

Примеры анализа инородного тела в глубоких отверстиях. Слева внизу - распределение железа (Fe), справа - распределение титана (Ti). Благодаря высокому углу извлечения EPMA - 8050G, высокоточный анализ может быть выполнен даже в образцах с ярко выраженными вогнутыми и выпуклыми поверхностями.

В спектральных кристаллах используются полностью сфокусированные кристаллы типа Джонсона.

Поддерживайте процесс подготовки кристаллов, основанный на опыте исследований и разработок в Симидзу, чтобы обеспечить спектральные кристаллы с высокой чувствительностью и высоким разрешением. Спектральные кристаллы типа Johanson (Johnson) представляют собой полностью сфокусированные кристаллы без аберрации.

Он может быть оснащен до 5 - канальным 4 - дюймовым спектрометром с высокой чувствительностью и высоким разрешением одновременно.

Диаметр круга Роланда рентгеновского спектрометра является одним из ключевых факторов, влияющих на аналитические характеристики EPMA. С каждым увеличением радиуса круга Роланда на 1 дюйм чувствительность обнаружения снижается более чем на 30%. Больше всего EPMA

Все аналитические операции просты и понятны.

Все операции требуют только одной мыши для достижения передовой работоспособности, стремления к « понятному » человеческому пользовательскому интерфейсу, с навигационным режимом и многими другими новыми функциями, которые сделают « простые и понятные операции» реальностью. Как начинающие, так и опытные пользователи могут проводить удобный анализ операций.

• Импорт из образца в генерирующий аналитический отчет, удобный в эксплуатации.
• Даже при первом использовании можно легко проводить SEM - наблюдение для определения местоположения проб.
Непревзойденная управляемость значительно повышает эффективность аналитической подготовки.
• Визуальное стремление к гуманному пользовательскому интерфейсу, который является « понятным».
• Установка навигационного режима, автоматическое руководство до создания аналитического отчета.