-
Электронная почта
marketing@dymek.com
-
Телефон
13917837832
-
Адрес
Шанхай Pudong Jingao Road 2216 35 6 комнат 306 - 308
Даймэй приборно - техническое обслуживание (Шанхай) лтд.
marketing@dymek.com
13917837832
Шанхай Pudong Jingao Road 2216 35 6 комнат 306 - 308
Описание продукта:
Модульная система картирования толщины FR - Scanner - AllInOne - Mic - XY300 включает в себя оптические, электронные и механические модули, которые могут использоваться как для точного измерения безграфических, так и графических пленок (например, микрографических поверхностей, грубых поверхностей).
Поместите кристаллическую окружность на вакуумный присос (размер кристаллической окружности 300 мм в диаметре) и оснастите ее стандартной отражающей частью. Измерения выполняются мощным оптическим модулем, размер пятна составляет всего несколько микрон. Электрическая платформа обеспечивает 300 - миллиметровый маршрут в направлении XY и обладает отличными характеристиками с точки зрения скорости, точности и повторяемости
FR-Сканер-AIO-Микрофон-XY300Предоставляются:
спектрометрия отражения в реальном времени
o Толщина пленки, оптические свойства, измерение неоднородности, картирование толщины
• Использование высококачественных цветных камер с интегрированным USB - соединением для получения изображений
Широкая статистика параметров измерений
Функция полуавтоматического выравнивания рисунков для измерения периодических графических областей
оСовсем другое.Функции программного обеспечения, например: Click2Move (щелчок экрана по точке определения местоположения), масштаб
Приложение:
FR - AutoFocus: 100 мм длинная ось для автофокусировки, с двумя режимами работы: фокусировка изображения (контрастность) / интенсивность отражения
Rotation Module: электрическая платформа с вращающимися модулями обеспечивает высокое разрешение и точность
FR - FilterWheel: Модуль электрического фильтра с разъемом для 12 фильтров автоматически управляется компьютером: размер фильтра: 0,5 дюйма в диаметре, до 6 фильтров (1 дюйм)
FR - AutoTurret: автоматическая вращающаяся башня, управляемая компьютером, может вместить четыре объектива: скорость переключения объектива составляет около 1,0 - 3,0 секунды
Lenses: объектив VIS / NIR с длинным рабочим расстоянием: 5X, 10X, 20X, 40X, 50X
Отраженный объектив UV / NIR: 10X, 15X, 25X, 40X
Pump: вакуумный насос с низким уровнем шума, 2.5L / min, вакуум - 60kPa.
Chucks: 6 - дюймовый патрон для фотошаблона 6 - дюймовый с областью отсчета, многокристаллический патрон (100 - 300 мм и нерегулярные пластины), включая область отсчета и темную область для автоматического эталона
Спецификации:

Двухмерная диаграмма толщины:

График толщины 3D:

Принцип измерения: