Фокусированный ионный луч и сканирующий электронный микроскоп - FIB - SEM

ДоговариваемыйОбновление на01/13

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Цейсс Crossbeam сочетает в себе мощные визуализационные и аналитические свойства объектива с электронным микроскопом с полевым сканированием (FE - SEM) с превосходными возможностями обработки фокусированных ионных пучков нового поколения (FIB). Будь то резка, визуализация или 3D - анализ, серия Crossbeam значительно улучшит ваш опыт применения.

Подробности о продукте

Специально для высокой пропускной способности3DАнализ и подготовка образцов.ФИБ-СЕМЦейсс Crossbeam сочетает в себе мощные визуализационные и аналитические свойства объектива с электронным микроскопом с полевым сканированием (FE - SEM) с превосходными возможностями обработки фокусированных ионных пучков нового поколения (FIB). Будь то резка, визуализация или 3D - анализ, серия Crossbeam значительно улучшит ваш опыт применения. Используя электронную оптическую систему Gemini, вы можете получить реальную информацию о образцах из изображений сканирующей электронной микроскопии (SEM). Зеркальный цилиндр Ion - sculptor FIB представляет новый метод обработки FIB, который уменьшает повреждение образца и улучшает качество образца, тем самым ускоряя экспериментальный процесс.

Независимо от того, используется ли он в научно - исследовательских институтах или промышленных лабораториях, лабораториях с одним пользователем или многопользовательских экспериментальных платформах, если вы хотите получить высококачественные, высокоэффективные экспериментальные результаты, модульная платформа ZaissCrossbeam позволяет вам обновлять систему приборов в любое время в соответствии с изменениями ваших собственных потребностей.

Технические параметры:

	Скачать Crossbeam 350	Скачать Crossbeam 550
Сканирующий электронный микроскоп (SEM)	Зеркало Gemini I	Зеркало Gemini II
	Параметры переменного давления	Скачать Tandem Decel
	Поток электронного луча: 5 pA - 100 nA	Поток электронного луча: 10 pA - 100 nA
Фокусированный ионный пучок (ФИБ)	Разрешение: 3 nm @ 30 kV (статистический метод)	Разрешение: 3 nm @ 30 kV (статистический метод)
Фокусированный ионный пучок (ФИБ)	Разрешение: 120 нм @ 1 kV & 10 pA (необязательно)	Разрешение: 120 нм @ 1 kV & 10 pA
Детектор	Inlens SE, Inlens ESB, VPSE (детектор вторичных электронов переменного давления), SESI (детектор вторичных ионов вторичных электронов), aSTEM (детектор просканированных электронов), aBSD (детектор обратного рассеяния)	Inlens SE, Inlens ESB, ETD (детектор Everhard - Thornley), SESI (детектор вторичных ионов вторичных электронов), aSTEM (детектор просканированных электронов), aBSD (детектор обратного рассеяния) и CL (детектор катодной флуоресценции)
Типовые склады и порты	Стандартный склад образцов оснащен 18 настраиваемыми интерфейсами	Стандартный склад образцов с 18 настраиваемыми интерфейсами / склад больших образцов с 22 настраиваемыми интерфейсами
Грузоподъемная станция	X/Y = 100 мм	X/Y = 100 мм / X/Y = 153 мм
	Z = 50 мм, Z' = 13 мм	Z = 50 мм, Z' = 13 мм / Z = 50 мм, Z' = 20 мм
	Т = - 4° - 70°, R = 360°	T = - 4° - 70°, R = 360° / T = - 15° - 70°, R = 360°
Управление зарядом	электронно - лучевая пушка	электронно - лучевая пушка
	нейтрализатор местного заряда	нейтрализатор местного заряда
	Изменяемое давление	-
Газ	Одноканальная система впрыска газа: Pt, C, SiOx, W, H2O	Одноканальная система впрыска газа: Pt, C, SiOx, W, H2O
Газ	Многоканальные системы впрыска газа: Pt, C, W, Au, H2O, SiOX, XeF2	Многоканальные системы впрыска газа: Pt, C, W, Au, H2O, SiOX, XeF2
Разрешение памяти	32 k×24 k (до 50 k×40 k с использованием выбранного модуля 3D - томографии ATLAS 5)	32 k×24 k (до 50 k×40 k с использованием выбранного модуля 3D - томографии ATLAS 5)
Дополнительные аналитические вложения	EDS、EBSD、WDS、SIMS， При необходимости можно предоставить и другие варианты.	EDS、EBSD、WDS、SIMS， При необходимости можно предоставить и другие варианты.
преимущество	Благодаря режиму переменного давления и широкому спектру экспериментов на месте совместимость образцов может быть значительно расширена.	Анализ и визуализация выполняются с высоким потоком, и высокое разрешение может быть получено в различных условиях.

聚焦离子束和扫描电子显微镜 – FIB-SEM

Похожий продукт рекомендовать