Полный спектральный эллиптический поляризационный толщиномер SE950

Преимущества:

Функция микропятна: стандартная конфигурация микропятна 80x120 микрон. Специальная оптическая конструкция в сочетании с высокоточной Z - осью шлифовального класса автоматически удаляет отражение с обратной стороны прозрачной подложки. Во время фокусировки можно автоматически определять фокусное положение мембраны и преодолевать отражение за прозрачной подложкой через оптические щели

Использование автоматической фокусировки сигнала для измерения сигнала и фокусировки сигнала для одного и того же сигнала эффективно избегает измеренной ошибки местоположения.

Автоматическое отслеживание дефлектора: значительно повышает точность измерения эллипсоида, особенно для анализа материалов в полярных тонкопленочных слоях, а также точность в отношении мяса и дельты

Электрический автоматический регулируемый дефлятор затухания: можно автоматически или вручную регулировать насыщенность сигнала различных образцов (100% ~ 0,1%), а интенсивность UV - сигнала и сигнала видимого света может быть установлена сегментно для оптимального измерения сигнала

5. Программное обеспечение для автоматического анализа соответствия: обеспечивает функцию предварительного анализа толщины мембраны преломления, возможности сравнения базы данных неизвестных материалов, программное обеспечение для автоматического анализа упрощает работу, преодолевает трудности измерения, которые эллипсометр всегда был вызван работой профессионалов.

Дистанционное управление: преодоление ограничений, связанных с присутствием и обучением эллипсоида, значительно повышает эффективность послепродажного обслуживания

Высококачественный DUV - спектрометр: спектральный диапазон 220 нм - 1100 нм (необязательно до 1700 нм) с разрешением < 1 нм с собственным полупроводниковым охлаждением, высоким динамическим отношением, соотношением сигнала и шума для минимизации воздействия шума

Автоматическая генерация 2D или 3D - карт Mapping и автоматический анализ данных, автоматическое сохранение спектра, агрегирование и загрузка данных

Время тестирования с настройкой recipe значительно сокращается до 1 - 3 секунд, что повышает эффективность тестирования.

10. Конструкция с использованием пассивной ультрафиолетовой волоконно - оптической двухволоконной структуры, усовершенствованной функции отключения, значительно повышает спектральную стабильность и надежность долгосрочного использования.

11, высокая стабильность стандартная точность повторения толщины пленки < 0.5A, преломление точность повторения < 00005

Диапазон испытаний толщины мембраны 1 нм - 20 мкм может быть проверен на прозрачную или непрозрачную подложку

13 Бесплатное моделирование

Спецификации:

Оптический принцип:

Световые волны смещаются от контакта с поверхностью оптической сборки до короткого времени, когда они покидают поверхность оптической сборкиСтатус (polarization state) обязательно изменится. Эллиптический поляриметр, используемый для измерения световых волн.прибор для проникновения в оптические компоненты или отражения изменений в полярном состоянии спереди и сзади от поверхности оптических компонентов. отИзменение этого полярного состояния является результатом взаимодействия световых волн с материалами оптических компонентов, посколькуЭто может быть вызвано изменением полярного состояния, инверсией физических характеристик поверхности оптического компонента. ЗдесьПоверхность так называемого оптического компонента может быть поверхностью оптического компонента или однослойной пленкой или многослойнымСтек пленки также может быть загрязняющим слоем на поверхности оптических компонентов.
Свет отражается от угла падения без нуля до поверхности образца из - за толщины образца и реакции на свет(Абсорбция или прозрачность...), в результате чего происходит изменение поляризованного состояния (генерируется изменение фазы и амплитуды), это измерениеСпособ, который мы называем эллиптическим измерением. При измерении каждой длины волны мы получаем два отдельных параметра.Числа и