Система распределения количества жидких частиц в абразивном растворе

Описание продуктаСистема распределения количества жидких частиц в абразивном растворе Производство коммерческих интегральных схем зависит от выравнивания с помощью химических машинФизические и химические свойства частиц абразивной суспензии, которые полируют поверхность кремниевого чипа до почти атомной плоскости. Абразивная паста (Slurry) содержит относительно небольшое количество частиц > 1,0 мкм (например, диоксид кремния, оксид алюминия), которые могут вызвать микроцарапины при выравнивании поверхности кристаллического круга. Таким образом, количество крупных частиц (LPC) частиц абразивной пасты (Slurry) является ключевым фактором в процессе CMP.

Принцип обнаруженияИзмеренная жидкость течет через бассейн обращения, с оптическим стеклом по обеим сторонам бассейна обращения, луч лазера выпрямлен через группу линз, луч проходит через бассейн обращения и облучается на световую ловушку. Если в жидкости, подлежащей измерению, нет частиц, фотоэлектрический детектор не может принимать световые сигналы, если в жидкости есть частицы, частицы проходят через бассейн обращения, и лазерный луч блокирует или рассеивает явление. Сигналы затенения и рассеяния под одним (или несколькими) углами собираются и сходятся на фотодетекторе посредством сбора линзы, создавая положительный импульс электрического сигнала, который пропорционален амплитуде импульсного сигнала и силе света. В зависимости от амплитуды и количества сигнала можно определить количество мелких частиц в жидкости. Метод фоторезистора в основном обнаруживает более крупные частицы размером более 2 мкм, а метод рассеяния света в основном обнаруживает частицы размером менее 2 мкм. Умное обнаружение слияния двух модулей расширяет диапазон обнаружения частиц и повышает точность, так что частицы нигде не скрываются. Счетчик жидких частиц PLD - FX - 801, основанный на принципе обнаружения в двух режимах метода рассеяния света и метода фотосопротивления, использует двухлазерный датчик обнаружения узких частиц света восьмого поколения, двойной точный контроль расхода и автономную систему разбавления, которая может использоваться для оценки плохих частиц в абразивном растворе и концентрации этих частиц. Счетчик жидких частиц PLD - FX - 801 может эффективно помочь нам определить источник загрязнения частиц в системе, оценить эффективность фильтрации и уменьшить риски, связанные с выбором нежелательных частиц.

Типичное применение Применяется к Предыдущая часть поставки CMP POU - Обнаружение Large Particle в Slurry, вызывающей scratch & defect, в Final out поставляемого устройства для предотвращения аварий; Применяется для обнаружения различий между Slurry good / bad test, good / bad slurry, анализа на стороне предложения и предотвращения несчастных случаев; Применяется для мониторинга частиц в чистой воде в электронной полупроводниковой промышленности; Применяется для мониторинга частиц в электронных химических веществах в электронной полупроводниковой промышленности; Эффективность фильтрации и мониторинг целостности мембран, применяемых в фильтрационной промышленности; Применяется для очистки воды на водоочистных установках, восстановления воды на сталелитейных заводах, водопроводной воды и так далее.

Характеристики производительности Принцип обнаружения в двух режимах, так что частицы нигде не скрываются;Стандартные размеры частиц 0,5 - 100 мкм, сверхширокий диапазон мониторинга частиц; Точное управление потоком, чтобы данные мониторинга были более постоянными и стабильными; Автоматическая система разбавления в автономном режиме, подходящая для сверхвысоких концентраций частиц; Высокая скорость потока обеспечивает быстрое время очистки и чистоту системы; Интегрированная проектная частота отказов прибора, обеспечивающая низкую стоимость обслуживания; Калибровка латексных шариков, начиная со стандарта NIST; Наблюдение в реальном времени размера, количества и тренда частиц в шлифовальной пасте; Гибкая настройка порогового напоминания, динамические изменения быстро реагируют; Можно выбрать гибкий способ связи для реализации современного управления заводом;

технические параметры

Датчик: двухлазерный детектор узкого света восьмого поколения (более точный, более стабильный, более быстрый)

Принцип испытания: двойной режим светового сопротивления и рассеяния света

Испытательные образцы: вода и органические растворители

Диапазон обнаружения: 0,5 - 100 мкм

Количество каналов: 1000 каналов можно настроить 16 произвольно

Время проверки: 5s - Настройка

Точность диаметра зерна: ≥ 90%

Точность счета: ±3%

Точность отбора проб: ±1%

Скорость потока проб: 5 мл / мин - 150 мл / мин

Способ измерения: онлайн / оффлайн, разбавление / прямое

Режим тревоги: акустическая и световая сигнализация, сигнализация о утечке, сигнализация об ограничении частиц

Система управления: операционная система Windows

Способ связи: стандартный TCPIP; Выбор: RS232 / RS485 / 4 - 20mA

Настройка заказа

Стандартная конфигурация:

Набор контрольных узлов;

Установка комплекта для отладки расходных материалов;

Один комплект бумажных документов завода.

Модуль регулирования давления на входе.

Примеры применения

При измерении онлайн или оффлайн можно Данные LPC, полученные в результате изменений в устройствах подачи данных, таких как обмен файлами на устройствах подачи Match или Charge, позволяют эффективно контролировать Grade Slurry.