HORIBA GR - 314 / 314F Диспетчер давления заднего охлаждения DeviceNet

Описание продукта

Контроллеры давления Horiba GR - 314 / 314FЭто продукт управления давлением охлаждения задней части кристаллического круга для архитектуры связи DeviceNet, подходящий для регулирования давления газа с охлаждением спины в электростатической системе отсоса. Эта группа моделей подходит производителям полупроводникового оборудования для проектирования схемы управления давлением с охлаждением спины под платформой управления DeviceNet. Из них GR - 314 используется для контроля давления, на основе которого GR - 314F увеличивает возможности мониторинга трафика и может использоваться для более требовательных сценариев мониторинга процесса.

Характеристики продукта

Контроллеры давления Horiba GR - 314 / 314FСохраняются возможности управления давлением высокой стабильности, общие для серии GR - 300. Его диапазон управления давлением составляет 1 - 100% F.S., точность давления ± 0,5% F.S., ответ в течение 1 секунды, подходит для точного регулирования давления He, Ar и других газов во время охлаждения задней части кристаллического круга.

Основным преимуществом этой модели является связь DeviceNet. GR - 314 / 314F использует спецификации питания DC24V, 4.0VA, адаптированные к ODVA, с выходным сигналом давления от 0 до 100%, что лучше подходит для доступа к системе управления полупроводниковым оборудованием с использованием полевой шины. Для производителей устройств, которые уже используют DeviceNet, этот набор моделей обычно более прямолинейен, чем RS - 485 или EtherCAT.

Клиентам, которым необходимо сочетать контроль давления с мониторингом трафика, рекомендуется GR - 314F. GR - 314F предоставляет спецификации трафика 20, 50, 100 SCCM с выходом трафика 0 - 100% и подходит для приложений, связанных с мониторингом процесса и самодиагностикой.

технические параметры

Модель: GR - 314 / GR - 314F
Тип продукта: Контроллер давления охлаждающего газа с задней стороны кристаллической окружности
Протокол связи: DeviceNet Protocol
Драйвер питания: DC24V, 4.0VA (ODVA адаптация)
Тип клапана: нормально закрытый (Normally Close / NC)
Применимые газы: He, Ar, N2 (тип F четко указан)
Давление в полном диапазоне: 13,33 кПа (A)
Диапазон контроля давления: 1 - 100% F.S.
Точность давления: ±0,5% F.S.
Время отклика: 1 секунда
Рабочее давление: 250 кПа (A)
Давление: 300 кПа (A)
Коэффициент внешней утечки: 5 × 10 ^ - 12 Па · м³ / с (He)
Выход давления: 0 - 100%
Стандартный разъем: 1 / 4 inch VCR эквивалент
Направление установки: Свобода
Полный диапазон потока GR - 314F: 20 / 50 / 100 SCCM
Диапазон измерений расхода GR - 314F: 0 - 100% F.S.
Выход трафика GR - 314F: 0 - 100%.

Типичное применение

GR - 314 / 314F предназначен для использования в травильных установках с использованием сети DeviceNet, плазменных установках CVD и других полупроводниковых технологических установках, требующих контроля давления газов с задним охлаждением. GR - 314F особенно подходит для систем, требующих одновременного получения информации о потоке, для улучшения визуализации рабочего состояния и эффективности обслуживания оборудования.