Hellma Немецкий синтетический фторид кальция (CaFneneneed) оптический кристалл

Hellma Немецкий синтетический фторид кальция (CaFneneneed) оптический кристалл

Основные физические и химические свойства

• Химическая формула:: CaFneneneed (фторид кальция)

• Кристаллическая структура:: Кубическая кристаллическая система, (111) плоскость разреза

• плотность：3.18 g/cm³

• температура плавления：1418 °C

• Теплопроводность：9.71 W/(m·K) @20 °C

• Коэффициент теплового расширения (CTE)：18.9×10 ⁻⁶ / K @20 °C

• Растворимость (вода, 20°C): 0.016 г / л (чрезвычайно трудно растворимый)

II. Оптические свойства (ядро)

• Диапазон пропусканияА.130 нм (глубокое ультрафиолетовое излучение) ~ 9 мкм (среднее инфракрасное излучение)Охватывает весь диапазон VUV / DUV / видимый / инфракрасный.

• Внутренняя проницаемость (толщина 10 мм)А.

• UV（193/248 nm）：> 99,0%

• ВИС: >92%

• ИК (3 ~ 5 мкм): > 90%

• Коэффициент рефракции ( nd@587.6 nm）А.1.43384(Низкий коэффициент преломления, небольшое искажение оптического пути)

• Число Аббе (d)А.95.23(Очень низкая дисперсия, отличная ахроматизация)

• Равномерность коэффициента преломления (@ 633 нм)А.0,5 ppm / 3 ~ 20 ppm (стандарт)

• Двойное преломление напряжений (@ 633 нм)А.≤0,5 нм/см/1~50 нм/см (стандарт)

• Нелинейное преломление (nnenenebd @ 1064 нм):: 1,9×10 ⁻⁶cm² / W (очень низкая, высокая мощность лазерной стабилизации)

• Коэффициент температуры коэффициента преломления (dn / dT)А.

• @ 193 нм: -3,2 × 10 ⁻⁶ /K

• @ 248 нм: -6,9 × 10 ⁻⁶ /K

III. Долговечность лазера (ключевой показатель уровня фотолитографии)

• Применяемая длина волны:: Экстрамолекулярный лазер 157 нм, 193 нм, 248 нм

• Порог повреждения лазером (LDT)А.> 10 J / cm² @ 193 nm (импульсы 10 ns)

• Долгосрочная стабильность: В условиях глубокой ультрафиолетовой литографииНизкие дефекты, низкое старениеПодходит для 7 нм и менее

IV. Размеры и индивидуальные спецификации

• Максимальный размерА.

• Монокристаллические: диаметр250 ммТолщина - 150 мм.

• Поликристаллический: диаметр440 ммТолщина - 150 мм.

• ориентация кристалла: < 111 > (по умолчанию), < 100 >, Случайная ориентация

• Качество поверхности: шлифовка, полировка (Лямбда / 10, Лямбда / 20), ультрапрецизионная полировка

• допуск: Диаметр / длина ±0,1 мм, толщина ±0,05 мм (можно настроить с более высокой точностью)

V. Классификация материалов

• UV 级 （193–400 nm）:: Равномерность коэффициента преломления - - 1 ppm, двойное преломление - - 1 nm / cm, для193 нм фоторезистА.

• Уровень DUV (157 - 193 нм):: Сверхвысокая однородность (0,5 ppm), очень низкое двойное преломление (0,5 нм / см), адаптация157 нм фотолитографияА.

• Уровень VIS (400 - 780 нм):: Стандартная однородность (3 - 5 ppm) для визуализации видимого света, микроскопии.

• IR 级 (0,78-9 мкм): Инфракрасное излучение через оптимизацию, дляИнфракрасное окно, тепловидение, спектрометрА.

VI. Основные преимущества

1. сверхширокая пропускание：130 nm–9 μm， Требования к покрытию многодиапазонного диапазона.

2. Крайне низкая дисперсия: Число Аббе 95.23, сильная ахроматическая способность, высокая острота изображения.

3. Высокая устойчивость лазера:: Подходит для квазимолекулярного лазера 193 / 248 нм с долгосрочной стабильностью без повреждений.

4. Высокая однородность:: Равномерность коэффициента преломления до 0,5 ppm, отличная согласованность лучей.

5. Большой калибр: Монокристаллические 250 мм, поликристаллические 440 мм для удовлетворения потребностей больших оптических систем.

VII. Типичное применение

• Полупроводники:193 нм / 248 нм Фотолитографические объективы, системы освещенияА.

• Лазеры: мощные лазерные окна, лучевые пластины, линзы (157 - 1064 нм).

• Инфракрасное излучение: окно инфракрасного тепловизора, спектрометрический элемент, линза астрономического телескопа.

• Научные исследования: вакуумные ультрафиолетовые (VUV) оптические, высокоэнергетические радиационные окна окружающей среды.

Hellma Немецкий синтетический фторид кальция (CaFneneneed) оптический кристалл