Интеллектуальная система PECVD

ДоговариваемыйОбновление на12/28

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

PECVD - III - 500A - D210 представляет собой интеллектуальную систему PECVD. Устройство в основном разделено на четыре части: многотемпературные трубчатые печи, радиочастотные компоненты, системы газопроводов и интегрированные системы программного обеспечения автоматизированного управления.

Подробности о продукте

Устройство в основном разделено на четыре части: многотемпературные трубчатые печи, радиочастотные компоненты, системы газопроводов и интегрированные системы программного обеспечения автоматизированного управления.

1 Открытая нагревательная печь

В нагревательной камере используется ультралегкий глиноземный волокнистый материал с K - образной термопарой, 6 - точечный контроль температуры; Управление подъемом и падением температуры оборудования гибкое, нагревательная печь может быть включена электрическим способом, чтобы облегчить клиентам замену ремонтных реакционных труб.

2 Газовая система

Многоканальный газ может быть точно контролирован расходомером массы для смешивания в соответствии с различными потоками, кроме того, 1 проходит через пенообразователь и входит в реакторную трубку.

3 Радиочастотные компоненты

Высокопроизводительное радиочастотное свечение мощностью 1000 Вт равномерно, так что вся реакционная полость находится в зоне генерации свечения.

4 Интеллектуальная система управления

Использование интеллектуального PID нечеткого управления, 30 сегментов программируемого управления. Имеет функцию сверхмягкой сигнализации.

максимальная температура	1200℃
Постоянная рабочая температура	≤1100℃
Скорость нагрева	≤10℃/мин
Точность контроля температуры	±1℃
нагревательный элемент	Электрическая проволока
Термопара	Тип К
Режим контроля температуры	нечеткое PID - управление и саморегулировка, искусственный интеллект 30 сегментов программируемого управления, с функцией сверхмягкой сигнализации о разрыве пары, человеко - машинный интерфейс плюс управление PLC, управление 15 - дюймовым жидкокристаллическим экраном, двойное управление цифровыми приборами управления работой, использование промышленного интеллектуального термостата и программного обеспечения для достижения двойного управления
Общая мощность нагрева	≤15 кВт
Размер зоны нагрева	300+300+300 мм
мощность радиочастоты	1000 Вт
Размер оборудования	25508501600мм
Вес оборудования	Около 600 кг.

Похожий продукт рекомендовать