Измерение ширины линии

COMEF - это программное обеспечение для обработки изображений со специальными функциями, предназначенное для высокоточных измерений ширины и расстояния линий. С помощью алгоритма серого значения он может измерять ширину и расстояние между проводами или структурами на кремниевых кристаллах с субпиксельной точностью.

Он использует принцип обратимости оптических изображений. Таким образом, можно также представить, что чип CCD помещается в плоскость тела (плоскость выборки). Микроскоп, который визуализирует тестовый образец на уровне чипа с десятикратным увеличением, в принципе также визуализирует чип на уровне тестового образца с увеличением 1 / 10.

Что такое субпиксельная обработка? Subpixeling means, detection of edge position with higher reproductibility than ΔXm. Субпиксели означают обнаружение положения края с более высокой воспроизводимостью, чем дельта Xm. How does that work? Как это работает? A condition is that the recognition of the edge position does not take place manually any longer via setting measuring points on the PC monitor. Условием является то, что распознавание периферийных позиций больше не осуществляется путем ручной установки точки измерения на мониторе компьютера. The edge recognition is made on the basis of grey tone distributions by the regarded screen window. Thus this measuring procedure no more is suitable for all kinds by objects. Идентификация края основана на распределении оттенков серого цвета в окне наблюдаемого экрана. Таким образом, этот метод измерения больше не применим ко всем типам объектов. It works however outstanding perfect for all linear expanded objects, thus e.g. for circuit paths on hoppers or structures on wafers and masks in semiconductor technology. Тем не менее, он хорошо зарекомендовал себя и применим ко всем линейным расширяющимся объектам, таким как пути цепей в полупроводниковой технологии, структура на бункере, а также структура на кристаллической окружности и маске.

Поскольку первоначальный размер пикселей на чипе составляет 6 микрон, размер каждого пикселя на уровне тестовой выборки составляет 0,6 микрона.