Быстрый измерительный прибор MADlink 100

Быстрый измерительный прибор MADlink 100Это оптический прибор, специально предназначенный для быстрого измерения диаметра микроотверстия на тонкой пластине, который эффективно решает технические проблемы, связанные с тем, что традиционные методы оптической обработки микроизображений и электронного микроскопа не могут обеспечить полную проверку микроотверстия тонкой пластины. Его особенность заключается в том, что все микроотверстия в глобальном диапазоне пластины (максимальная площадь 5,0x4.5 мм) могут быть получены только одним захватом, чтобы вывести характеристики апертуры, распределение апертуры и распределение положения микроотверстий для всех микроотверстий на пластине.

Рисунок 1: Образцы микропористой пленки

Диаметр микропористости представляет собой диаметр отверстия размером до микрон или даже субмикрон на пластине.

Обычный оптический микроскоп ограничен оптическим дифракционным явлением, максимальное разрешение может достигать только около 0,5 мкм, поэтому обычная оптическая микроскопия измеряет микроотверстия около 1 мкм, ошибка явно слишком велика; Более того, в это время можно использовать только 40 - кратный или более микроскопический объектив, размер поля зрения может достигать 0,2 мм или меньше. Для микропористой пластины, изготовленной на тонкой пластине и распределенной в нескольких миллиметрах, невозможно сделать захват всего региона. Даже измерение с помощью сканирования разделов может занять много времени, и проблема утечки неизбежна. Если для глобальных фотометрических измерений используется микроскоп с низким разрешением, например, в 2 раза, то из - за малой числовой апертуры низкократного объектива (числовая апертура двукратного объектива составляет всего 0,06) диаметр дифракционного пятна (пятна Эри), вызванного ограничением апертуры, может достигать около 10 мкм, а наблюдение за микроотверстиями в десятки микрон с помощью такого объектива может привести к значительной двусмысленности, в то время как для микроотверстий размером 1 мкм изображение обычного оптического микроскопа уже не отражает размер отверстия. Таким образом, измерительные системы, основанные на оптическом микроусилении и цифровой обработке изображений, сталкиваются с трудностями при проведении таких глобальных быстрых измерений микроапертуры. Хотя электронный микроскоп имеет лучшую глубину и разрешающую способность, он имеет меньшее поле зрения для однократных измерений и очень высокую стоимость использования и не подходит для быстрого измерения диаметра тонких микроотверстий.

Рисунок 2: Схема работы

Быстрый измерительный прибор MADlink 100Используя метод измерения микроапертуры светового потока, разработанный командой истинной оптики, и используя соотношение между световым потоком через микроотверстие и площадью отверстия, приведенное ниже, оптическая дифракция (линза изображения) в методе оптической микровизуализации эффективно избегает ограничения точности измерения размера микроотверстия.

Рисунок 3: Диаграмма соотношения между световым потоком и кривой апертуры

Расчет апертуры микроотверстия производится на основе величины светового потока, обнаруженного датчиком изображения для каждого отверстия, при этом исправляется потеря световой энергии, вызванная оптической дифракцией самого микроотверстия, так что глобальный захват диаметра микроотверстия позволяет быстро завершить измерение всей апертуры микроотверстия в районе, а кривая распределения микроотверстия с конечным выходом и распределение пространственного положения.

Рисунок 4: Типичный аналитический отчет