Фотолитограф без маски

ДоговариваемыйОбновление на02/10

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Фотолитография без маски UVD: компактная настольная система фотолитографии без маски, с использованием цифровой микроскопической технологии для высокоскоростной графической генерации без маски, может достигать минимального характеристического размера до 0,5 мкм. Оснащен высокоточной технологией фокусировки в реальном времени и визуальной контрастной гравировки, в основном используется для создания быстрых прототипов в таких областях, как MEMS, фотонные устройства, квантовые вычислительные чипы и датчики.

Подробности о продукте

Цифровая проекционная система фотолитографии без маски UVD:: Компактная настольная система фотолитографии без маски, использующая технологию цифрового микрозеркала для высокоскоростной графической генерации без маски, может достигать минимального характеристического размера до 0,5 мкм. Оснащен высокоточной технологией фокусировки в реальном времени и визуальной контрастной гравировки, в основном используется для создания быстрых прототипов в таких областях, как MEMS, фотонные устройства, квантовые вычислительные чипы и датчики.

Фотолитограф без маски_УВДПараметры производительности
Заголовок записи	50 х	20 х	10 х	5 х
Минимальный размер характеристики (мкм)	0.5	0.8	1	2.5
шероховатость (3 сигма, нм)	70	80	100	200
однородность CD (3 сигма, нм)	80	130	180	250
Точность резьбы 100×100mm² (нм)	500	500	800	1000
Скорость записи mm² / min	13	50	100	180
Особенности системы
Источник света	405 нм, 385 нм или 365 нм
Размер фундамента	Максимум 8 дюймов.
Толщина фундамента	0,1 мм ~ 8 мм
Максимальная площадь экспозиции	190×190мм²
Температурная стабильность	±0,1°
Уровень серого	1024
Масштабируемость	Поддержка расширенных двухволновых источников света
Особенности
Режим написания сценариев	Предоставление интерфейсов программирования сценариев для поддержки пользовательских структур обработки
Нарисовать режим обработки в режиме онлайн	Поддержка онлайнового рисования в режиме реального времени, рисования произвольной графики на изображении образца в режиме реального времени для непосредственной обработки
Программное обеспечение для записи и резки	Поддержка JPG, TIFF, GDS, DXF и других форматов
Автофокус в реальном времени	Оптическая фокусировка
Диапазон автофокусировки	70 мкм
Системные принадлежности
Объект	5×, 10×, 20×, 50×, 100×
Размер системы
Длина, ширина, высота.	850 мм х 940 мм х 780 мм
	850 мм х 940 мм х 1470 мм
вес	250 кг (вес узла)
Условия установки
Электрические условия	230VAC±5%, 50/60Hz, 10А
температура окружающей среды	Температура: 21 ± 1 градус Цельсия, влажность: 50% ~ 70%, без конденсации
Сжатый воздух	6-9 бар, ± 0,5 бар
Экологическое освещение	Жёлтый свет
Класс чистоты	Чистая комната 10000

Похожий продукт рекомендовать