плазменно - химическая система осаждения в газовой фазе

ПЭКВДплазменно - химическая система осаждения в газовой фазе

1. Очистка покрытия за один раз, чтобы предотвратить вторичное загрязнение;

2. верхняя открытая конструкция, облегчающая наблюдение за образцом;

3. Продукт использует полностью автоматический режим управления, сенсорный экран, цифровой дисплей;

4. Высокая степень интеграции оборудования;

5. Стабильный радиочастотный источник питания, равномерное распределение температуры, улучшение качества пленки;

модель продуктаNBD-PECVD1200-80TI

Электрические спецификацииAC220V 4 кВт

достижимая температура1200 ℃

Непрерывная температура1150℃

Достижимая скорость нагрева. 20 ℃/минута

Радиочастотный источник питания300Или500 Вт 13,56 МГц

Размер печи80*1200 мм

ПЭКВДплазменно - химическая система осаждения в газовой фазе

Система управления

1АНБД-101ЭПВстроенный графический интерфейс обмена между английским и китайским языками операционной системы,7дюймовый цветной сенсорный экран ввод, интеллектуальный режим человеко - машинного диалога, отображение мощности нагрева в реальном времени, нелинейная коррекция температуры образца; Экспериментальные отчеты генерируются автономно, экспериментальные данные экспортируются неограниченное количество раз.

2Экспериментальный процесс более интуитивный, операция более удобная;3Имеет сигнализацию о перегреве, подсказку о разрыве пары, защиту от утечки и другие функции.

Точность температуры+ / - - 1℃

нагревательный элементМоСмешанныйФе-Cr-Аль合金

Система уплотнения

真空度： ≤10 Па(Механические насосы)

Для измерения и мониторинга давления используется цифровой вакуумметр, который делает вакуум оборудования более интуитивным и более точным.

Система подачи газа использует двухканальный протонный расходомер для точного управления скоростью потока газа, с набором оборудования в одном;

нетто360 кг

Внимание к использованию оборудования

1Температура печи оборудования ≥300При температуре Цельсия запрещается открывать печь, чтобы избежать повреждения;

2При использовании оборудования давление в трубе не должно превышать0,125МПа(Абсолютное давление) для предотвращения повреждения оборудования из - за чрезмерного давления;

3При использовании в вакууме температура использования оборудования не должна превышать800℃。

4Внутреннее давление в баллоне подачи газа выше, при подаче газа в трубу печи на баллоне должен быть установлен редуктор давления, рекомендуется в испытании на выбор использовать редуктор давления, диапазон редуктора давления0.01МПа-0.15МПа,При использовании они будут более точными и безопасными.

5Когда температура печи выше1000При температуре C в трубе печи не должно быть вакуума, давление в трубе печи должно быть эквивалентно атмосферному давлению, поддерживается в состоянии атмосферного давления;

6Длительное использование кварцевых труб высокой чистоты при температуре1100℃

7При нагревании экспериментов не рекомендуется закрывать клапаны вытяжки и впускные клапаны на фланцевом конце трубы печи. Если необходимо выключить клапан для нагрева образца, всегда обращайте внимание на показания манометра, если показания абсолютного манометра больше0,15 МПаНеобходимо немедленно открыть вентиль выпускного конца, чтобы предотвратить несчастный случай (например, разрыв трубы печи, вылет фланца и т.д.)

Поддержка услуг1Годовая гарантия качества, обеспечивающая пожизненную поддержку (гарантия не включает скоропортящиеся детали, такие как трубы печи и уплотнительные кольца и т.д.).