прецизионная полупроводниковая машина

Дифференциальная машина представляет собой высокоточное оборудование для высокоточной резки кристаллов с использованием лезвия или лазера и в основном используется в процессе заднего прохода полупроводниковых чипов, включая микротонкую обработку кристаллических пластин, таких как рисование, разделение или прорезка. В качестве ключевого оборудования для упаковки полупроводниковых задних проходов для резки среднего кристаллического круга и резки WLP качество и эффективность резки напрямую влияют на качество упаковки и затраты на производство чипа.

прецизионная полупроводниковая машинаНастройка программного обеспечения системы MR 200 и конфигурация аппаратного обеспечения обеспечивают высокую точность разметки, что позволяет точно вырезать структурированные кремниевые пластины. MR 200 - очень мощный инструмент, который особенно важен при подготовке образцов SEM для полупроводниковой технологии. Кроме того, MR 200 также подходит для резки и разделения небольших партий чипов, например, в лабораторных приложениях.

прецизионная полупроводниковая машинаМеханическая инфраструктура предлагает множество вариантов, которые могут быть использованы для настройки параметров разметки. Высококачественные оптические системы с зумом обеспечивают непрерывную бесступенчатую регулировку увеличения от 8 до 40 раз. Оптические и механические компоненты могут быть расширены с помощью вспомогательных модулей, что повышает эффективность работы и комфорт взаимодействия человека и машины. К таким модулям относятся системы видеонаблюдения, системы обработки изображений и системы измерения смещения рабочих столов.

Камерная система:

Этот высококачественный зум - микроскоп обеспечивает бесступенчатое переключение между обзорными и детальными картами поверхности образца. Благодаря тонкой настройке несущего стола x / y образец может быть определен с высокой точностью. Начальная точка и рабочий угол выделенного алмаза могут быть отрегулированы, а окулярный крест используется для обозначения начальной точки. Видеосистема может быть выбрана, и после настройки этой функции состояние поверхности кристаллической окружности можно наблюдать в режиме реального времени на мониторе ПК.

Системы обработки изображений:

Высококачественные оптические системы с зумом обеспечивают непрерывную бесступенчатую регулировку увеличения от 8 до 40 раз.

Система измерения смещения рабочих столов:

Цифровое измерительное устройство для измерения смещения, предназначенное для определения местоположения рабочего стола со спецификацией диапазона 100 мм / 200 мм. Измеритель обеспечивает высокоточное позиционирование кристаллического диска в вертикальном направлении от гребня, одной из основных целей которого является точное рисование сетки.

Цифровое измерительное устройство для определения местоположения рабочего стола, масштаб 100 мм

Цифровое измерительное устройство для определения местоположения рабочего стола, размер 200 мм

Технические параметры:

Оптическая система:

Высококачественная оптическая система с зумом может обеспечить бесступенчатую регулировку увеличения от 8 до 40 раз, и микроскоп имеет множество аксессуаров на выбор для достижения большего количества функций.

Дополнительные аксессуары:

Цифровой измеритель смещения: 100 мм / 200 мм

Измеритель обеспечивает высокоточное позиционирование кристаллического диска в вертикальном направлении от гребня, одной из основных целей которого является точное рисование сетки.

2.Подходящий пакет обновления камеры

Обновленный комплект камер CCD включает в себя соответствующие микроскопические компоненты. Кроме того, требуется камера, монитор или компьютер с программным обеспечением для обработки изображений. Клиенты могут выбрать пользовательскую схему или использовать камеры, компьютеры и программное обеспечение, предоставляемые OEG.

3 Цветная видеосистема

Эта опция включает в себя 1,3 - мегапиксельную цветную камеру, универсальный компьютер и программное обеспечение для обработки изображений, которое отображает изображения камеры на экране и поддерживает сохранение изображений.

4 Измерение ширины линии

Это расширенное программное обеспечение для обработки изображений обеспечивает высокоточное измерение ширины линии с субпиксельным разрешением.

Точная резка, удобная в эксплуатации:

После крепления фундамента к патрону микроскоп направляется в кристаллическую окружность. Перемещение рабочего стола по осям X и Y с помощью ручного привода может быть скорректировано на эталонные метки или структуры на образце. Высококачественный зум - микроскоп позволяет быстро переключаться между вероятностными и детальными картами образца. С помощью тонкой настройки рабочего стола X / Y можно очень точно определить кристаллическую окружность. Точки соприкосновения размеченных алмазов могут быть отрегулированы через окуляр или крест на дисплее и управляться подъемом и падением с помощью педального переключателя, при этом обе руки могут одновременно управлять движением разметки. Определив положение разметки, опустите алмаз с помощью педального переключателя и вручную переместите патрон, чтобы завершить разметку.