Агент LOGOSOL

Агент LOGOSOL

Контактный менеджер: i872i868549 (тот же номер WeChat)

Американский логотипПрибор предварительного наведения‌ Это высокоинтегрированное оборудование, которое в основном используется для предварительного выравнивания кристаллических кругов в процессе производства полупроводников. Превыравниватели обычно интегрируются в более крупные устройства или системы, такие как машины для нанесения клея, фоторезисты, устройства для осаждения тонкой пленки и травления, для быстрого и точного выравнивания кристаллического круга до начала процесса.

Основные модели и функции

Серия предварительных выравнивателей LOGOSOL включает в себя несколько моделей, каждая из которых имеет свой конкретный сценарий применения и технические характеристики:

• АЛПА26-3‌ Высокоточное выравнивание для малогабаритных кристаллических кругов.

• АЛПА38-3‌ Эффективное выравнивание для средних размеров кристаллических окружностей.

• АЛПА58-3‌ Высокоточное выравнивание для больших размеров кристаллов.

• АЛПА312-3‌ Применяется для выравнивания сверхбольших кристаллических окружностей.

• АЛПА812-3‌ Высокоточное выравнивание для сверхбольших кристаллических окружностей.

• АЛПА218-3‌ Применяется для выравнивания кристаллических окружностей сверхбольших размеров.

Эти предварительные выравниватели поддерживают кристаллические окружности различных размеров от 45 до 480 мм и подходят для различных технологических потребностей.

Технические характеристики и преимущества

Технические характеристики предварительного выравнивания LOGOSOL включают:

• АВысокая интеграция‌: Экономия пространства, совместное использование системы управления с основным оборудованием для достижения бесшовной стыковки ‌

• АВысокая точность‌ Применяется для высокоточных процессов, обеспечивающих точное выравнивание центра и направления кристалла.

• АМногофункциональное программное обеспечение для управления• Поддержка совместимости и интерфейсов с различными полупроводниковыми платформами.

• АБыстрое определение местоположения‌: В высокоскоростной производственной линии для достижения быстрого и точного позиционирования кристаллического круга ‌.

Агент LOGOSOL

сценарий применения

Предварительные выравниватели LOGOSOL широко используются в следующих полупроводниковых устройствах:

• :: Обеспечить точное выравнивание центра кристалла и направления кристалла перед фотолитографией.

• АОборудование для нанесения клея• Обеспечение согласованности положения кристаллической окружности во время нанесения клея и проявления.

• АОборудование для тонкопленочного осаждения• Обеспечить выравнивание кристаллической окружности с реакционной полостью до процесса осаждения.

• АКоррозионное оборудование• Обеспечение точного выравнивания положения и угла кристаллического круга в процессе травления.

Предварительный выравниватель LPA38 - 3 - V40P1 - S23