RIE Реакционная ионная машина

ДоговариваемыйОбновление на01/04

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

CIF выпускает RIE - реактивный ионный травильный аппарат, который использует метод возбуждения, индуцированный реакционными ионами RIE, для достижения микроструктурного травления анизотропии поверхности материала. Особенно подходит для университетов, научно - исследовательских институтов, микроэлектроники, полупроводниковых корпоративных лабораторий для проведения исследований диэлектрического травления, кремниевого травления, металлического травления и других аспектов. Низкая стоимость использования, высокая рентабельность, простота обслуживания, быстрая и эффективная обработка. Реакционная ионная травильная машина RIE подходит для всех основных материалов и сложных геометрических конфигураций для ионной травки RIE.

Подробности о продукте

CIF выпускает RIE - реактивный ионный травильный аппарат, который использует метод возбуждения, индуцированный реакционными ионами RIE, для достижения микроструктурного травления анизотропии поверхности материала. Особенно подходит для университетов, научно - исследовательских институтов, микроэлектроники, полупроводниковых корпоративных лабораторий для проведения исследований диэлектрического травления, кремниевого травления, металлического травления и других аспектов. Низкая стоимость использования, высокая рентабельность, простота обслуживания, быстрая и эффективная обработка.RIE Реакционная ионная машинаПрименяется ко всем основным материалам и сложным геометрическим конфигурациям для ионного травления реакцией RIE.

В частности:

Диэлектрические материалы (SiO2, SiNx и т.д.)

* Живописный "Hongkuang, said Xiao Hongkuan, a student of Xiao Honghan, had been said.

♦ Материалы III - V (GaAs, InP, GaN и т.д.)

♦ Распыление металлов (Au, Pt, Ti, Ta, W и т.д.)

• Алмазная группа (DLC)

Область применения:

RIE Реакционная ионная машинаВ основном используется для микроэлектронных чипов, солнечных батарей, биочипов, дисплеев, оптики, связи и других областей разработки и производства устройств.

Характеристики продукта

♦7 - дюймовый цветной сенсорный экран интерактивный интерфейс на английском и китайском языках, автоматическое управление мониторингом состояния технологических параметров, 20 формульных программ, технологические данные могут храниться для отслеживания.

♦Рабочий контроллер PLC контролирует весь процесс очистки, ручной и автоматический два режима работы.

♦Использование вакуумных отсеков, полностью вакуумных систем трубопроводов 316 Материал из нержавеющей стали, коррозиестойкий и не загрязняющий.

♦Использование антикоррозионных цифровых расходомеров, Обеспечение точного контроля за входом газа. Стандартная двухканальная газотранспортная система, Избранное количество газовДорожная газотранспортная система, Можно вводить кислород, аргон, Газы, такие как азот, тетрафторуглерод, водород или смесь.

♦Использование цветочного пористого впуска для изменения неравномерности однодырочного впускаУдовлетворение проблем.

♦HEPA Высокоэффективная фильтрация, продувка газа обратной засыпкой, чтобы предотвратить вторичное загрязнение.

♦В соответствии с эргономикой.Интерфейс управления наклоном 60 градусов спроектирован, удобен в эксплуатации, дружественный интерфейс.

♦Использовать верхнюю вакуумную капсулу, верхнюю крышку, петлю нижнего давленияЗакрыть режим.

♦Наверх360 - градусный горизонтальный отбор образцовСоответствует эргономике, более удобной эксплуатации.

♦Эффективная обработка больших площадей, может обрабатывать максимальный диаметр154 - мм кристаллический кремниевый чип.

♦Безопасная защита, люк открыт, автоматически выключает питание, машинный транспортСтрока, стоп подсказки.

Похожий продукт рекомендовать