полуавтоматический кристаллический комплекс

I. СОДЕРЖАНИЕполуавтоматический кристаллический комплексвведение

Может широко использоваться в производстве подложек, изготовлении кристаллических кругов, а также в испытании процесса упаковки, 3C электронных стеклянных экранов и их прецизионных аксессуаров, оптической обработке, панелях дисплея, устройствах MEMS и других высокоточных обрабатывающих отраслях. Измеряемые категории включают в себя поверхность объекта от гладкого до грубого, низкого альбедо до высокого альбедо, толщину, шероховатость, выравнивание, микрогеометрический профиль, кривизну и т. Д., Предлагается в общей сложности более 300 видов 2D и 3D параметров в соответствии с четырьмя основными отечественными и зарубежными стандартами SEMI / ISO / ASME / EUR / GBT в качестве стандарта оценки.

II.полуавтоматический кристаллический комплекспреимущество

Бесконтактная толщина, трехмерное микронаноморфологическое измерение

Интегрированные модули измерения толщины и трехмерные модули измерения морфологии и шероховатости, используя одну машину для выполнения толщины, TTV、LTV、BOW、WARP、 Измерение шероховатости и трехмерной формы.

2 Высокоточные методы измерения толщины

• Эффективное сканирование Wafer с использованием спектрального конфокального излучения с высоким разрешением.

В сочетании с вакуумным присосом с электростатическим разрядным покрытием с несколькими степенями свободы, характеристики кристаллического круга могут поддерживаться до 12 дюймов.

• Используя технологию Mapping Tracking, программируемую для включения многоточечных, линейных и поверхностных автоматических измерений.

Высокоточная трехмерная технология измерения морфологии

Использование оптической интерферометрии белого света, прецизионного модуля Z - направленного сканирования и высокоточного алгоритма 3D - восстановления с Z - направленным разрешением до 0,1 нм.

Уникальная конструкция виброизоляции значительно снижает вибрацию земли и шум воздушной акустической вибрации и обеспечивает высокую повторяемость измерений.

• Технология машинного зрения обнаруживает точку Марка изображения, виртуальный зажим размещает образец, может автоматизировать непрерывные измерения многоточечной формы.

4. Высокоскоростная конструкционная платформа с козлами большого хода

• конструкция козловой двери большого хода (400x400x75 мм) с максимальной скоростью движения 500 мм / с.

• Высокоточные гранитные основания и балки, общая структура стабильна и надежна.

Ключевой двигательный механизм использует высокоточную линейную направляющую, привод сервопривода с прямым приводом AC, в сочетании с растровой системой с разрешением 0,1 мкм, чтобы обеспечить высокую точность и высокую эффективность оборудования.

5 Управлять просто, легко и без беспокойства

• Ручка управления, включающая в себя три функции регулировки смещения направления XYZ, может быстро завершить подготовительные работы перед измерением, такие как сдвиг несущего стола и фокусировка в направлении Z.

• Иметь двойную конструкцию для предотвращения столкновений, чтобы избежать повреждения объектива и объекта, подлежащего измерению, в результате столкновения в результате неправильной эксплуатации.

• Функция переключения электрических объективов делает наблюдение быстрым и простым.

III. Богатые измерительные проекты:

Измерение толщины, измерение шероховатости, измерение ТТВ, измерение размеров изображения, измерение деформации, измерение контура, измерение Боу

IV. Технические параметры: