Двусторонний зондовый стол Semiprobe

Двусторонний зондовый стол Semiprobe - Двусторонний измерительный стол Описание продукта:

Двусторонний зондовый стол Semiprobe - двухсторонний измерительный стол, спроектированный и изготовленный на основе адаптивной структуры запатентованной зондовой системы Semiprobe (PS4L), обеспечивает непревзойденную гибкость и мощь. В настоящее время все больше приложений требуют обнаружения с обеих сторон формы или чипа. Решения Semiprobe DSP удовлетворяют следующим требованиям:

• Зонд с обеих сторон
• Зонд сверху, контрольный выход снизу
• Зонд снизу, чтобы обнаружить выход из двухстороннего теста сверху.

Двусторонний зонд Semiprobe - двухсторонний измерительный стол отличается от традиционной системы зондов, все базовые модули системы - фундамент, держатель патрона, патрон, кронштейн микроскопа, движение микроскопа, оптические элементы, манипулятор и т. Д. - могут быть заменены и модернизированы. Это делает DSP идеальным решением для многих различных приложений. Уникальный модульный дизайн позволяет клиентам получить индивидуальные системы, которые точно отвечают их требованиям. Что еще более важно, по мере изменения среды или условий тестирования зондовая система PS4L может быть легко обновлена на месте для удовлетворения новых потребностей. Это позволяет клиентам экономить больше времени и больше затрат по сравнению с традиционным оборудованием для тестирования.

Разработка двухсторонней зондовой системы (DSP):

Двусторонняя зондовая система (DSP) изначально использовалась для двух применений: анализа отказов и дискретных устройств. Применение анализа отказов (FA) включает в себя эмиссионный микроскоп, который требует контакта с верхней или подвижной поверхностью кристаллической окружности, а также визуализации с другой стороны с помощью усиленной или инфракрасной камеры. При установке пластины, как правило, задняя часть движется вверх к передающей камере, а верхняя часть вниз. Это упрощает процесс поиска места неисправности и определения основной причины неисправности. Некоторые компании, включая Semiprobe, имеют решения для этого приложения. В зависимости от типа эмиссионного микроскопа и изготовителя, обнаруженная сторона может быть верхней или нижней.

Второй тип системы DSP используется для обнаружения дискретных мощных устройств, включая тиристоры, диоды, выпрямители, ограничители напряжения, транзисторы мощности и / или IGBT. Из - за мощности, используемой для тестирования этих устройств, обычный задний контакт через смещенный патрон не может получить точных результатов. Точные результаты можно получить при индивидуальном контакте с обратной стороной DUT (измеренного устройства). Кроме того, из - за мощности, используемой в этих испытаниях, обычно требуется несколько зондов.

По мере того, как полупроводниковая промышленность продолжает работать над повышением производительности оборудования при одновременном снижении затрат, новые технологии становятся основным направлением проектирования и производства продуктов, которые требуют решений DSP - MEMS, фотоэлектроники, силиконовых отверстий и т. Д. Еще одно новое приложение DSP включает в себя установку головок солнечных симуляторов над или ниже кристаллической окружности, чтобы стимулировать смещение с другой стороны устройства. С точки зрения проектирования и представления, Semiprobe создал ряд инновационных DSP - решений для обнаружения этих устройств.

Технические параметры двухстороннего зондового стола Semiprobe:

• Входное напряжение: 110 / 220 В 50 / 60 Гц, 20А
• Воздух: Минимальный расход 100psi
• 真空： 23 Рг или -0,8 бар
• Орбита оси Чака X - Y: ручное или программируемое управление
• Маршрут: 205 * 205 мм
• Орбита Z - оси патрона: ручное или программируемое управление
• Маршрут: до 20 мм
• Тета - движение: ручное (> 30°) или программное управление (±4°)
• Микроскопическое перемещение: ручное или программируемое управление
• Маршрут: 50x50mm - 200x200mm
• Носитель патрона: 75 мм, 100 мм, 150 мм, 200 мм
• Частично кристаллический диск
• Комплект чипов
• Баллоновые материалы: алюминий и никелированная сталь
• Оптические элементы:

1. Микроскоп: большинство - стереозум, увеличение 100x
2. Внизу: цифровое фокальное зеркало
3. Камера: оба оптических элемента имеют камеру CCTV, подключенную к монитору через видеопереключатель

Дополнительные аксессуары:

Включая виброизоляционный стол, темный ящик, карту зонда, манипулятор, рычаг обнаружения и основание, зонд, оптические компоненты, систему CCTV, другие носители пластины и т. Д.