система PECVD плазмы с одной температурой

ДоговариваемыйОбновление на01/27

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

MFLPECVD408 - 12 - трубчатая печная система системы PECVD. Состоит из вакуумной трубчатой печи, радиочастотного источника питания, системы подачи газа, вакуумной системы. Максимальная температура может достигать 1200 градусов, с использованием 30 - ступенчатых программных терморегуляторов, K - образных термопар, печи для высокочистого глиноземного керамического волокна, это оборудование может использоваться для выращивания нанопроводов или подготовки различных пленок методом CVD.

Подробности о продукте

I. СОДЕРЖАНИЕописание продукта

II.Характеристики продукта

Газ в кварцевом вакууме преобразуется в ионное состояние с помощью радиочастотного источника питания.
Температура, необходимая для химического осаждения в газовой фазе, ниже, чем у обычного CVD
Размер напряжения осажденной пленки можно контролировать с помощью частоты радиочастотного питания
Скорость химического осаждения в газовой фазе PECVD выше, чем у обычного CVD, хорошая однородность, высокая согласованность и стабильность.
5 Широко используется для: роста различных тонких пленок, таких как: SiOx, SiNx, SiOxNy и неструктурированный кремний (a - Si: H) и так далее.

II. Технические параметры

модель устройства	МФЛПЭКВД408-12
Трубная печь	Диапазон регулирования температуры	Комнатная температура - 1200°C
	рабочая температура	≤1100℃
	Длина нагревательной зоны	400 мм
	Кварцевая трубка	Диаметр 80 мм, длина 1400 мм (диаметр трубы может быть выбран 50, 60100)
	Точность контроля температуры	＜1000 ±0.1℃ ； ≥1000±1℃
	Температурные колебания	± 1°C (точка испытания 1000°C)
	Скорость нагрева	Рекомендуется при температуре ниже 1000 градусов 10 ° C / min, максимальная скорость нагрева - 30 ° C / min
	Скорость охлаждения	Свыше 700°C + 10°C / мин
	Температура печи	Температура поверхности печи меньше комнатной температуры + 10 (точка измерения 1000 °C)
	Термометрический элемент	К - образная термопара
	Режим контроля температуры	Нечеткое PID - управление и самонастройка, интеллектуальное 30 - сегментное программируемое управление, с функцией сверхмягкой сигнализации о разрыве пары
	мощность напряжения	220В 3кВт
Система подачи газа	Газопровод	Четыре дороги
	Управление потоком газа	Контроллер протонного потока (семизвездочный расходомер)
	Точность управления	±1,5% ФС
	Точность повторения	±0,2% ФС
	Диапазон потока	1-500 SCCM
	Механический манометр	Механический манометр на панели, и диапазон подключения для заливки смеси: - 0,1 - 0,15 МПа



Вакуумная система Вариант I (Низкий вакуум: механические насосы)	питание	220В
	Предельная степень вакуума	5х10^-1Па
	Скорость откачки	2 л / с
	Клапан вакуумный	КФ25
	модель	ВРД-8
	мощность двигателя	0,4 кВт
Вакуумная система Вариант II (Высокий вакуум: механические насосы + молекулярные насосные агрегаты)	модель	ГЗК-16-600
	питание	AC100-240 50/60Гц
	мощность	1 кВт
	вес	25 кг
	Предельное давление	*1.010-4Па**
	Интерфейс ввода - вывода	КФ40
	Максимальный расход холодной воды	10л/мин
	Вакуумметр	комбинированный вакуумметр
	вакуумТочность управления	±1%
	Диапазон измерения вакуумметром	1.0x10 - 1.0x10-5па
питание (Плазменный генератор)	диапазон выходной мощности	0-500 Вт
	Устойчивость мощности	±5 Вт
	рабочая частота	Радиочастотные:13,56 МГц ± 0,005%
	Режим согласования	автоматический
	способ охлаждения	воздушное охлаждение
	Шум	<50дБ







безопасность	Условия работы	РТ±5-40℃
	Гарантии использования	Открывай, выключай, сигнализация о перегреве, защита от утечки, защита от перегрева.




	Трубная печь	один
Издательский список	Вакуумная система	комплект
	Система подачи газа	комплект
	Радиочастотный источник питания	комплект
	Высокотемпературные перчатки	Двойной Кастон.
	Крюк	Один.
	Газопровод	одна
	Описание оборудования	Один экземпляр.
	Инструкция по приборам	Один экземпляр.
	Гарантийный талон	Один экземпляр.
Выбор товаров	Передвижная плита	нержавеющая сталь
Выбор товаров	Интеллектуальные приборы с сенсорным экраном	50 сегментов программирования, которые могут быть реализованы для подключения к компьютеру. С помощью специальной компьютерной системы управления выполняются такие функции, как удаленное управление, отслеживание в реальном времени, история, отчеты о выходе с одной или несколькими электрическими печами.

Примечание: Диаметр трубы может быть выбран: 50 / 60 / 80 / 100 / 120 / 150 / 200 / 300 мм,

Тепловая зона может быть двойной, трехтемпературной и многотемпературной,

Свяжитесь с обслуживающим персоналом

Похожий продукт рекомендовать