Швейцария VAT61.6 - Высокий вакуумный клапан управления и изоляции типа бабочки

61.6 Регулирующие клапаны HV обеспечивают превосходные характеристики контроля давления и изоляции. Благодаря быстрому и точному контроллеру движения (0,45 секунды), это решение для тонкого управления и изоляции в процессе CVD. Баттерфляй, как дроссель, изменяет проводимость устья клапана. Интегрированный контроллер давления 61.6 вычисляет необходимое положение плиты для достижения заданного давления как можно быстрее.

Изоляция серии 61.6 специально предназначена для предотвращения высокого износа уплотнения клапанов - бабочек. Благодаря своей центральной наружной оси, а также специальной геометрии корпуса клапана и уплотнительного сиденья трение уплотнения уменьшается до низкого уровня, а герметичность улучшается.

Серия 61.6 была установлена в тысячах сложных применений в различных технологических условиях и доказала свою превосходную надежность. Серия 61.6 с твердыми вариантами проектирования и прямой установки, а также уменьшенным и удобным обслуживанием превосходно работает во всех аспектах.

Различные варианты проектирования, связанные с материалом корпуса, обработкой поверхности, эластомерами, фланцевыми соединениями, герметичными материалами, специальными размерами и специальными алгоритмами управления (адаптивными, фиксированными PI - подъёмными / мягкими насосами) упрощают интеграцию серии 61.6 с различными вакуумными приложениями.