Швейцария VAT вакуумный клапан - вакуумная многоклапанная установка

Швейцария VAT вакуумный клапан - вакуумная многоклапанная установка

Швейцарский VAT является производителем вакуумных клапанов, специализируется на проектировании и производстве высокоточных вакуумных клапанов, продукты широко используются в полупроводниках, фотовольтаике, плоском дисплее, научных исследованиях и других областях, известных высокой надежностью, долголетием и герметичностью.

1. Корпоративный контекст

Швейцарский VAT является производителем вакуумных клапанов, специализируется на проектировании и производстве высокоточных вакуумных клапанов, продукты широко используются в полупроводниках, фотовольтаике, плоском дисплее, научных исследованиях и других областях, известных высокой надежностью, долголетием и герметичностью.

2. Серии основных продуктов

(1) Одноклапанный продукт

• Серия моделейА.

• Угольный клапан(Например, серия VAT 54): подходит для среды с высоким вакуумом (HV) и сверхвысоким вакуумом (UHV).

• Проходящий клапан(Например, серия VAT 47): Конструкция с низким потоковым сопротивлением, подходящая для быстрой вакуумной накачки.

• задвижка(Например, серия VAT 19): Металлическое уплотнение, высокотемпературное (до 450°C), используется в полупроводниковых технологических камерах.

• Регулирующий клапан:: Точное управление расходом газа для регулирования технологического давления.

• технические параметрыА.

• Коэффициент утечки: < 10⁻mbar · l / s (металлическое уплотнение).

• Материал: нержавеющая сталь, алюминиевый сплав, никелирование поверхности или электролитическая полировка.

• Способ привода: пневматический, электрический или ручной.

(2) Многоклапанные устройства (Multi - Valve Systems)

• Особенности проектированияА.

• Интеграция нескольких клапанов (например, изолирующих клапанов, боковых насосных клапанов, главных насосных клапанов) в один модуль, упрощает компоновку вакуумной системы.

• Модульный дизайн с поддержкой индивидуальных комбинаций (например, VAT Lockfast) ® Серия).

• Быстрое реагирование (время переключения может быть до 50 мс).

• Типичное применениеА.

• Многокамерная изоляция полупроводникового оборудования для травления / осаждения.

• Переключение вакуумного пути в системе фотоэлектрического покрытия.

3. Основные технологические преимущества

• Технология уплотненияА.

• Металлические уплотнения (неэластичные материалы) подходят для высокотемпературной и коррозионной среды.

• Упругое уплотнение (например, фторокаучук) используется в экономичных приложениях.

• Система приводаА.

• Пневматический привод имеет стандартную взрывозащищенную конструкцию, электрический привод поддерживает управление PLC.

• Умный контрольА.

• Поддержка промышленных протоколов, таких как PROFINET и EtherCAT, для мониторинга состояния клапанов в режиме реального времени.

4. Типичные области применения

• Производство полупроводников:: Камера передачи кристаллического круга, оборудование для травления.

• Фотоэлектрическая промышленность: Вакуумная изоляция оборудования PECVD, ALD.

• Научно - исследовательское оборудование:: Источники света синхронного излучения, ускорители частиц.

• Промышленный вакуум:: Оборудование для нанесения покрытий, термообработки.

5. Ссылки по выбору

• Ключевые параметрыА.

• Размеры прохода (DN16 - DN400).

• Диапазон давления (от атмосферного давления до 10⁻mbar).

• Совместимые газы (коррозионные / инертные газы).

• Стандарты сертификацииА.

• SEMI F47 (Стандарт устойчивости полупроводниковых устройств к колебаниям напряжения).

• Сертификация CE / UL.

6. Услуги и поддержка

• Предоставление индивидуального дизайна, быстрой доставки и глобальной технической поддержки.

• Инструменты онлайн - конфигурации (например, VAT Configurator) помогают в выборе.

Швейцария VAT вакуумный клапан - вакуумная многоклапанная установка