Швейцарский высоковакуумный маятниковый клапан VAT серии 65.3

ДоговариваемыйОбновление на05/13

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Швейцарский высоковакуумный маятниковый клапан VAT серии 65.3 $r $n оптимизирует управление давлением вниз по течению в полупроводниковой и мониторной системах и изолирует клапан управления маятником $r $n65.3 устанавливает новый стандарт управления давлением вниз по течению и изоляции. Эта серия маятниковых клапанов, предназначенных для производства полупроводников и дисплеев, обеспечивает высокий уровень управляемости в более широком диапазоне проводимости. 65.3 Управляющий маятниковый клапан оснащен двигателем с интегрированным управлением положением, который обеспечивает улучшенные функции.

Подробности о продукте

Швейцарский высоковакуумный маятниковый клапан VAT серии 65.3

65.3 Регулирующие маятниковые клапаны устанавливают новые стандарты контроля давления и изоляции в нижнем течении. Эта серия маятниковых клапанов, предназначенных для производства полупроводников и дисплеев, обеспечивает высокий уровень управляемости в более широком диапазоне проводимости. 65.3 Управляющий маятниковый клапан оснащен двигателем с интегрированным управлением положением, который обеспечивает улучшенные функции.

Контроллеры дисков имеют более высокую производительность обработки 32 - битных данных и обеспечивают совершенно новую управляемость. Это означает, что положение маятниковой клапанной пластины может контролироваться очень быстро, тонко и точно, что обеспечивает очень точное управление давлением вниз по течению за очень короткое время отклика. Предназначенная последовательность движения клапана может регулировать скорость и маршрут в соответствии с различными постоянно меняющимися технологическими параметрами. 65.3 Управляющий маятниковый клапан также предотвращает высвобождение частиц. Оптимизированное демпфирующее движение клапанной пластины позволяет избежать удара и вибрации, обычно встречающихся в традиционных клапанах. 65.3 Закрытие регулирующего маятникового клапана проходило гладко, и закрытие и открытие практически не было замечено. Клапанная пластина обеспечивает очень точное механическое наведение, обеспечивает бесконтактное управление потоком воздуха в возвратно - поступательном движении и обеспечивает равномерное уплотнение во всех областях движения уплотнения.

65.3 Управляющий маятниковый клапан уже установлен в сотнях требовательных применений в различных технологических условиях, демонстрируя свою надежность и производительность. 65.3 Управляющий маятниковый клапан также является идеальным вариантом для преобразования существующей системы.

65.3 Управляющий маятниковый клапан имеет размер DN 100 - 350 мм (4 '- 14') и изготовлен из алюминия или твердого анодного оксида алюминия со стандартными фланцевыми соединениями ISO - F и JIS. Можно интегрировать индивидуальные фланцы, а также использовать в качестве прямого варианта установки. Стандартным герметичным материалом является фтористый каучук, и по запросу могут использоваться другие материалы.

Контроллер может использовать специальные алгоритмы управления (адаптивный, фиксированный PID, вверх по течению, мягкая накачка). Различные стандартные порты на контроллере легко доступны через персональный компьютер или подключенные к одному элементу управления процессом (PCU). Специальное программное обеспечение для анализа производительности управления (CPA) позволяет легко калибровать 65.3 маятниковый клапан и упрощать план технического обслуживания

瑞士VAT高真空控压摆阀65.3系列

Особенности:

Быстрый и точный контроль давления.
Операция без удара: образование без частиц
Повышение технологической стабильности: контроль всех потоков и давления
32 - разрядный интегрированный регулятор давления (IC2) с анализатором контрольной производительности (CPA)
Преобразование "Вставить и использовать": нет необходимости в калибровке или согласовании

Преимущества:

Надежность, точность и скорость
Продление цикла обслуживания
Низкие эксплуатационные расходы

размер		DN 100 (4'), DN 160 (6'), DN 200 (8'), DN 250 (10'), DN 320 (12'), DN 350 (14')
привод		шаговый Н - образный авиационный со встроенным регулятором давления
Материал корпуса клапана		Алюминий: алюминий или твердоанодный оксид алюминия
питающий элемент	привод уплотнительное кольцо	вращающийся фидер питающий элемент вала
Стандартный фланец		ISO-F, JIS
Коэффициент утечки	алюминий Жесткий анодный оксид алюминия	< 1×10-9Мбар ЛС-1 < 1×10-5Мбар ЛС-1
седло клапана скорости утечки	алюминий Жесткий анодный оксид алюминия	< 1×10-9Мбар ЛС-1 < 1×10-4Мбар ЛС-1
Диапазон давления	алюминий Жесткий анодный оксид алюминия	1 х 10-8mbar to 1.2 bar (Абсолютное давление) 1 х 10-6mbar to 1.2 bar (Абсолютное давление)
Количество переключателей перед обслуживанием1)	Управление давлением Закрыть / открыть	Миллион раз Двадцать тысяч.
температура	корпус клапана контроллер	≤ 120 °C Максимальная температура 50°C (рекомендуется + 35°C)
материал	Корпус клапана	EN AW-6061 (3.3211)
	уплотнительное кольцо	EN AW-6061 (3.3211), AISI 305 (1.4303), AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)
	Прочие компоненты	AISI 316L (1.4404, 1.4435), AISI 440 (1.4122), AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)
герметичный	Крышка клапана, клапанная пластина, питающий элемент корпуса клапана	Фторированный каучук (фторсодержащий эластомер)
место установки		Любое место

Швейцарский высоковакуумный маятниковый клапан VAT серии 65.3

Товарный номер 65350 - JAUH Товарный номер 65346 - PHGK Товарный номер 65350 - JAUF Товарный номер 65350 - JAUE Товарный номер 65350 - PACE

Товарный номер 65346 - PHGN Товарный номер 65340 - JAGQ Товарный номер 65340 - JAGN

Похожий продукт рекомендовать