Швейцарский высоковакуумный маятниковый клапан VAT серии 65.5

65.5 Маятниковые клапаны с высоковакуумным управлением обеспечивают высокоуправляемый спектр проводимости. Из - за его плавного движения открытия и выключения количество частиц и уровень образования частиц чрезвычайно низки, что также является его основной особенностью.

Клапан предназначен для жестких процессов, таких как коррозионное травление и очистка при производстве полупроводников, где требуется высококонтролируемый спектр проводимости, когда начальная контролируемая проводимость потока низкая.

65.5 Высокий вакуумный управляемый маятниковый клапан DN составляет 250 мм (10 '), а минимальная проводимость контролируется только 2 ls - 1. Благодаря отличным возможностям обработки данных 32 - разрядного контроллера привода, можно управлять потоком до очень тонкого уровня. Кроме того, можно обеспечить более быстрый привод, поскольку датчики и команды управления обрабатываются быстрее, чем эквивалентные 16 - битные контроллеры. Различные стандартные разъемы портов на контроллере легко доступны через персональный компьютер или подключенные к блоку управления процессом.

Механизм маятникового клапана имеет чрезвычайно прочную конструкцию, которая гарантирует, что он может противостоять любым побочным продуктам процесса. Чтобы уменьшить износ уплотнения и избежать образования и образования частиц, движение открытия и закрытия разделено. Провод первой ступени реализуется вертикальным движением вдали от седла клапана, а затем увеличивается путем перемещения маятниковой клапанной пластины в горизонтальном движении. Благодаря хорошей управляемости движения клапанной пластины заданный порядок движения может быть точно отрегулирован в соответствии с технологическими требованиями. Чтобы обеспечить герметичное закрытие, проходящий специальный нажимной стержень прижимает клапанную пластину к седлу клапана. Это обеспечивает равномерное распределение давления уплотнения во всех областях клапанной пластины.

Благодаря компактным вариантам проектирования и прямой установки, а также различным другим вариантам проектирования, серия 65.5 легко интегрируется в различные вакуумные процессы.

65.5 В высоковакуумных управляемых маятниковых клапанах используется алюминий или жесткий анодный оксид алюминия со стандартными фланцевыми разъемами ISO - F и JIS. Может быть интегрирован фланец, указанный клиентом, или может использоваться в качестве нагревателя для клапанов с рабочей температурой до 120°C.

1. Клапаны
2. Ось привода
3. Двухосный привод
4. уплотнение подачи привода
5. Закрытие