Швейцарский вакуумный клапан - бабочка VAT 61.3 - контрольный клапан - бабочка

61.3 Высокий вакуумный клапан управления бабочкой обеспечивает отличные характеристики управления давлением. Благодаря быстрому и точному контроллеру действия (0,1 секунды) 61,3 - образный клапан управления бабочкой является идеальным решением для тонкого управления в процессах CVD и ALD. Клапанная пластина может выступать в качестве дросселя, изменяя характеристики проводимости при открытии клапана. 61.3 Интегрированный регулятор давления клапана управления бабочкой может рассчитать требуемое положение клапанной пластины для достижения заданного давления как можно скорее.

Эта серия продуктов предназначена для суровых процессов нижнего течения с частицами в воздушном потоке. Даже при высокой нагрузке частиц и наличии обломков, осажденных в результате проектирования, контрольный клапан типа 61,3 бабочки сохраняет свою работоспособность.

Серия 61.3 была установлена в тысячах требовательных приложений в различных технологических условиях и доказала свою надежность. Благодаря прочному дизайну, прямым вариантам установки и простому и простому обслуживанию, серия 61.3 убедительна во всех отношениях.

Различные варианты проектирования материалов корпуса клапана, обработки поверхности, эластомеров, фланцевых соединений, специальных размеров и специальных алгоритмов управления (адаптивные, фиксированные PI вниз по течению / мягкие насосы) упрощают интеграцию в различных вакуумных приложениях.