УФ - литография

ДоговариваемыйОбновление на02/10

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Устройства для фотолитографии с прямой записью, отечественное фотолитографическое оборудование с прямой записью, ультрафиолетовая литография AOD: лазерное оборудование для прямой записи в основном используется для передачи микроструктурных узоров без маски для подготовки дифракционных оптических элементов, микромеханических и электрических систем. Различные базовые пластины, используемые для нанесения фотолитографических коллоидов, подвергаются прямой экспозиции без маски (например, стекло, кремниевые пластины или другие плоские материалы) и будут использоваться в качестве дифракционных оптических элементов, платформ для обработки микроэлектромеханических систем.

Подробности о продукте

УФ - литография_АОД:: Лазерные устройства прямой записи в основном используются для передачи микроструктурных узоров с прямой экспозицией без маски для подготовки дифракционных оптических элементов, микромеханических и электрических систем. Различные базовые пластины, используемые для нанесения фотолитографических коллоидов, подвергаются прямой экспозиции без маски (например, стекло, кремниевые пластины или другие плоские материалы) и будут использоваться в качестве дифракционных оптических элементов, платформ для обработки микроэлектромеханических систем.

УФ - литография_АОДПараметры производительности прямой записи
Заголовок записи	Высокое разрешение	100 х	50 х	20 х	10 х	5 х
Минимальный размер характеристики (мкм)	0.25	0.3	0.6	1	2	4
шероховатость (3 сигма, нм)	50	60	70	80	110	160
однородность CD (3 сигма, нм)	50	60	80	130	180	250
Точность резьбы 100×100mm² (нм)	300	300	500	500	800	1000
Скорость записи mm² / min	5	15	40	150	600	2000
100 × 100mm² Время записи (min)	3000	740	255	72	20	7
Особенности системы
Источник света	405 нм или 375 нм
Размер фундамента	Максимум 9 дюймов.
Толщина фундамента	0,1 мм ~ 15 мм
Максимальная площадь экспозиции	200×200мм²
Температурная стабильность	±0,1°
Уровень серого	4096
Масштабируемость	Поддержка многоканального расширения
Особенности
Режим написания сценариев	Предоставление интерфейсов программирования сценариев для поддержки пользовательских структур обработки
Программное обеспечение для записи и резки	Поддержка JPG, TIFF, GDS и других форматов
Автофокус в реальном времени	Оптическая фокусировка
Диапазон автофокусировки	100 мкм
Системные принадлежности
Объект	5×, 10×, 20×, 50×, 100×, необязательный объектив с высоким разрешением
Размер системы
Длина, ширина, высота.	1320 мм х 1320 мм х 2000 мм
вес	1100кг
Условия установки
Электрические условия	230VAC±5%, 50/60Hz, 16А
температура окружающей среды	Температура: 21 ± 1 градус Цельсия, влажность: 50% ~ 70%, без конденсации
Сжатый воздух	6-9 бар, ± 0,5 бар
Экологическое освещение	Жёлтый свет
Класс чистоты	Тысяча чистых комнат

Похожий продукт рекомендовать