Электрический круглый нагревательный диск / модуль (настраивается)

ДоговариваемыйОбновление на01/31

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Электрический круглый нагревательный диск, кристаллический круглый нагревательный модуль (настройка) очень важен в процессе производства полупроводников, особенно в некоторых ключевых процессах, таких как отжиг кристаллического круга, связывание, гомогенизация, травление, осаждение в газовой фазе и т. Д. Он может обеспечить стабильную среду температурного поля и точную равномерную температуру диска, чтобы обеспечить требования к нагреванию кристаллического круга в различных температурных зонах, чтобы реализовать производство и разработку полупроводниковых устройств.

Подробности о продукте

Продукты, связанные с технологией управления температурой, механической технологией на месте, такие как система нагрева кристаллического круга, печь быстрого отжига, высокотемпературная испытательная коробка и т. Д. Для клиентов может быть персонализирована настройка.

Модуль нагрева кристаллической окружности прибора & quot; Гого & quot;:Очень важно в процессе производства полупроводников, особенно в некоторых ключевых процессах, таких как отжиг кристаллического круга, связывание, гомогенизация, травление, осаждение в газовой фазе и т. Д. Он может обеспечить стабильную среду температурного поля и точную равномерную температуру диска, чтобы обеспечить требования к нагреванию кристаллического круга в различных температурных зонах, чтобы реализовать производство и разработку полупроводниковых устройств.

晶圆加热盘/模组（定制）

Модуль нагрева кристаллического круга (настраивается)Особенности:

• Температурный диапазон: RT ~ 600 °C

• Температурная стабильность: ±0,1°C

• Материалы: алюминиевые сплавы, нержавеющая сталь, инварные сплавы и т.д.

• Высокоточный контроль температуры

• Профессиональное программное обеспечение для контроля температуры

• Поддержка настройки

Параметры:

модель	Модуль нагрева кристаллического круга (настраивается)
размер	2 / 4 / 6 / 8 / 10 / 12 дюймов
диапазон температур	РТ ~ 600 ℃
Температурная стабильность	±0.1℃
материал	Алюминиевые сплавы, нержавеющая сталь, инварные сплавы и т.д.
Плотность	≤10um， Может достигать 3um, что связано с материалом.
Применимые условия	Атмосфера / вакуум
система охлаждения	Выбор: водяное охлаждение, газовое охлаждение и т.д.
Давление сцепления	Выбор: 0 ~ 100 кН

Похожий продукт рекомендовать