рентгеновский флуоресцентный спектрометр с дисперсией длин волн

Дифференцированный рентгеновский флуоресцентный спектрометр WDA - 3650Используется для оценки пленки, а также для неразрушающего и бесконтактного анализа толщины пленки и состава различных пленок.

Это рентгеновский флуоресцентный спектрометр с дисперсией длин волн (WD - XRF), который может одновременно анализировать толщину и состав различных пленок на кристаллической окружности размером до 200 мм неразрушающим и бесконтактным образом. Станция образцов с приводом XY TEA Z (метод) позволяет точно анализировать различные металлические пленки, избегая воздействия дифракционных лучей. Рентгеновская трубка мощностью 4 кВт обеспечивает высокоточный анализ сверхлегких элементов, таких как измерение следов пленки BPSG и анализ бора. Также поддерживается транспортный робот C - to - C (необязательно). Он оснащен автоматической калибровкой (полностью автоматическая ежедневная проверка и коррекция прочности).

Поддержка анализа концентрации и состава микроэлементов

Применяется к различным элементам от легких до тяжелых: 4 - это ~ 92U

♦Высокочувствительный детектор бора AD - bor

Мы постоянно разрабатываем новые оптические системы, такие как улучшение возможностей борного анализа для повышения точности и стабильности анализа. Кроме того, механизм охлаждения и механизм стабилизации вакуума являются стабильными стандартными устройствами.

♦приводной фуферный усилительный БУК X - Y - тета

Станция для образцов с приводом X - Y - TEA и установка направления измерений позволяют точно измерять толщину пленки и распределение компонентов по всему кристаллическому кругу. Железоэлектрические пленки также не подвержены воздействию дифракционных лучей.

♦Применение:

・Полупроводниковые приборы BPSG, SiO2 IV 3N4

· легированный поликристаллическим кремнием (B, P, N, AS), Wsix

・ Аль-Cu, TiW, TiN, TaN, PZT, BST, SBT

・MRAM

・金属膜 W, Mo, Ti, Co, Ni, Al, Cu, Ir, Pt, Ru

・磁盘 CoCrTa, CoCrPt и DLC

・NiP

Магнитный диск Tb - FeCo

Магнитная головка GMR, TMR

♦Широкая линейка стационарных угломер

Мы предоставляем наиболее подходящий стационарный угломер в зависимости от толщины мембраны и структуры мембраны. Мы также готовим специальную оптическую систему для анализа пленки Wsix на кремниевых кристаллах.

♦Автоматизация функций повседневного управления

Для получения точных аналитических значений прибор должен быть правильно откалиброван. Для этого необходимо регулярно измерять и проверять кристаллическую окружность и PHA - регулировку кристаллической окружности в качестве управляющей окружности для поддержания здоровья устройства. Эта обычная калибровка автоматизирована и уменьшает рабочую нагрузку оператора. Это функция AutoCal.

♦Совместимость с автоматической доставкой C - to - C

В дополнение к открытым картриджам также поддерживается SMIF POD. Совместим с кристаллическими окружностями ниже 200 мм. Кроме того, с хостом можно общаться по SECS и поддерживать различные форматы CIM / FA.

♦Компактный энергосберегающий дизайн

Хост занимает площадь под 1 м2 компактного дизайна. Использование безмасляных трансформаторов также делает вспомогательное оборудование более компактным и энергоэффективным.

• Оценка толщины и состава пленки.

• Подходит для всех типов пленки

• Поддержка пластин и диэлектрических дисков размером менее 200 мм.

• Высокая аналитическая производительность, точность и стабильность

• Получен стенд для образцов с приводом XY TEA Z, который позволяет получить точные результаты XRF

• Высокочувствительный борный анализ (с AD - борным каналом)

• Автокалибровка с помощью необязательных автоматических загрузчиков C - C

• безмасляный трансформатор

• Потребление энергии на 23% ниже, чем у предыдущих моделей.

Спецификации продукции: