6 - дюймовый нанопринтер NIL - 150

Технология нанопечати преодолела проблему традиционной фотолитографии в процессе уменьшения характерных размеров и имеет характеристики высокого разрешения, низкой стоимости и высокой производительности. СоС момента своего создания в 1995 году нанопечать прошла 14 лет развития, развив различные технологии печати, широко используемые в производстве полупроводников, mems、 Биологические чипы, биомедицина и другие области были названы одной из десяти технологий, которые изменили человечество.
Печатная машина NILОсновная идея состоит в том, чтобы переместить графику на соответствующую подложку с помощью шаблона, передающей средой обычно является тонкий слой полимерной пленки, которая упрощает свою структуру с помощью таких методов, как тепловое давление или облучение, чтобы сохранить переданную графику. Весь процесс состоит из двух процессов: печати и передачи графики. В зависимости от метода печати,NIL можно разделить на три основных метода фотолитографии: термопластика (Hot embossing), ультрафиолетовое отверждение UV и микроконтакт (micro contact printing, uCP).

II. Функции

lОсновные функции

Основная функция нанопринтера заключается в переносе графики на соответствующую подложку, которая обычно представляет собой тонкий слой полимерной пленки, которая упрощает структуру с помощью таких методов, как тепловое давление или облучение, чтобы сохранить переданную графику. Технология печати делится на два основных типа:

Тепловое давление:Сначала нанесите на подложку тонкий слой термопластичного полимерного материала (например,PMMA）。 нагревается и достигает температуры стеклования этого термопластичного материала Тг (Glass transistion temperature). Термопластический материал в высокобалластном состоянии, на него надавит форму нанометрового масштаба и наложит соответствующее давление, термопластичный материал заполнит полость в пресс - форме, после завершения процесса штамповки, пониженная температура термопластичного материала затвердевает, таким образом, получить повторяющуюся графику с пресс - формой. Затем форма удаляется, и для удаления остаточных полимеров проводится различная коррозия. Затем происходит графический перенос. Графический перенос может быть выполнен путем резки или удаления. Технология травления использует термопластичный материал в качестве маски, а нижняя подложка подвергается анизотропному травлению, чтобы получить соответствующую графику. Процесс отслаивания начинается с нанесения слоя металла на поверхность, затем полимер растворяется органическим растворителем, а затем металл на термопластичном материале также отслаивается, так что на подложке металл используется в качестве маски, а затем гравируется, чтобы получить изображение.

Ультрафиолетовая печать:Чтобы улучшить недостатки тепловой деформации при термопепрессовании, Университет ТёрксаC. G. Willson и S. v. Sreenivasan разработали шагово - флеш - печать (Step - Flash Imprint Lithography), процесс, в котором используется ультрафиолетовое прозрачное кварцевое стекло (жесткий модуль) или PDMS (мягкий модуль), фоторезистивный клей раствор с низкой вязкостью и фотоотверждением. Сначала низковязкий мономерный раствор капает на подложку для печати, в сочетании с микроэлектронным процессом, осаждение пленки может быть покрыто вращающимся клеем, при очень низком давлении шаблона на кристаллическую окружность, так что жидкое состояние рассеивается и заполняет полость в шаблоне. Благодаря ультрафиолетовой экспозиции формы полимеры в области прессования полимерные и отвержденные образуются. В конце концов, коррозия остаточного слоя и графический перенос получают структуру с высоким отношением глубины к ширине. Окончательный процесс размножения и переноса графики аналогичен процессу теплового давления.

lТехнические характеристики

* Хост содержит: вакуумные системы, системы контроля температуры, системы управления давлением, системы водяного охлаждения, PLCБ

Система, программный интерфейс, ультрафиолетовый источник света, односторонняя система электромагнитного нагрева

Максимальный размер печати устройства:6 дюймов.

Оборудование может обеспечить термопластику, ультрафиолетовую экспозицию

*Максимальное давление:8bar(Воздушный компрессор),20bar(Внешний сверхчистый источник)

Диапазон температур: от комнатной температуры до 250 По Цельсию.

Тип источника ультрафиолетового света: амальгамные лампы высокого давления: мощность:400WГлавная длина волны:365nmА.

*Вакуум оборудования:10 Па.

*Устройства случайным образом могут обеспечить полный спектр нанопринтеров в соответствии с научными потребностями, включая:

Термопрессовый клей

Глубокий коррозионный прессованный клей, экстенсивный (Lift - Off)(Печатный клей)

Быстрые шаблоны для изготовления материалов, различные шаблоны для защиты от загрязнения, подложки для адгезии и так далее

*С рандомизированным устройством могут быть предоставлены индивидуальные шаблоны нанопечати в соответствии с научными потребностями, включая: циклы400nmА4Шаблоны: Никель с дюймовой решеткойSFP ® & Hybrid Mold ®Мягкие шаблоны

ББ20nmРазрешение и прессование поверхности, а также техническая поддержка документации,

*Поддерживает автоматическое отжимание, электромагнитное нагревание

Внутри страны и за рубежом больше 10 Клиенты

* Технология включает:

Технологическая поддержка нано - печатающего клея

Поддержка антиадгезионного процесса для нано - печатных шаблонов, чтобы избежать воздействия смоделированного клея

Параметры нанопринтера

Процессы мягких шаблонов, включая PDMSШаблоны,SFPАHybrid MoldТехнология

ICPПроцесс травления

Гибкая полимерная подложка Nickel TemplateТермодавление металлических никелевых шаблоновPET、PMMAПодожди.

Выносить (Lift - off)) Технологическая поддержка, обработка металлических конструкций

Технология нанопечати

Обновление руководства по исследованиям и разработкам в области технологии прессования, документационная поддержка

lТехнический потенциал

Изобретатель устройства провел трехлетнюю исследовательскую работу в качестве научного ассистента в Лаборатории наноструктур профессора Стивена Ю. Чу (StephenY. Chou) из Принстонского университета, США, с 2001 по 2003 год, разработав технологии и материалы для ультрафиолетового отверждения нанопечати, которые внесли значительный вклад в развитие технологии нанопечати. Присоединившись к факультету материаловедения и инженерии в 2004 году, мы продолжили исследовательскую работу по нанотехнологии микрообработки и технологии нанопечати, разработали несколько новых материалов для нанопечати, разработали новый шаблон полимерной печати, выдвинули поверхностьТехнология печати метров; Использование863 тема « Разработка и применение ультрафиолетового оптического отверждения и термокомпрессионного оборудования для нанопечати двойного назначения» Поддержка проекта, Успешная разработка оборудования для нанопечати двойного назначения с функцией ультрафиолетового фотоотверждения и теплового давления, В настоящее время он стал продуктом и был принят Нанкинским университетом, Пекинским университетом аэронавтики и астронавтики, Национальным университетом оборонных наук и технологий, Хэйлунцзянским университетом, Шэньчжэньским научно - исследовательским институтом Китайской академии наук и многими другими университетами и научно - исследовательскими институтами, сформировал основную технологию нанопечати с независимыми правами интеллектуальной собственности, подал заявку и получил ряд специальных китайских и американских, технические стандарты синхронизированы с самым передовым уровнем в этой