F3 Одноточечный тестер толщины мембраны

ДоговариваемыйОбновление на01/12

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

F3 Одноточечный тестер толщины мембраны

Подробности о продукте

Серия Filmetrics KLA использует технологию спектрального отражения для достижения точного измерения толщины пленки, диапазон измерений от nm - мм, может достигать точных измерений толщины пленки, таких как фоторезист, оксид, кремний или другие полупроводниковые пленки, органическая пленка, проводящая прозрачная пленка и т. Д., Широко используется в полупроводниках, микроэлектронике, биомедицине и других областях. Filmetrics имеет несколько продуктов, таких как F10 - HC, F20, F32, F40, F50, F60 - T, и может измерять образцы от нескольких миллиметров до 450 миллиметров, а толщина пленки измеряется в диапазоне от 1 нм до миллиметра. F3 - sX проверяет толщину многих полупроводниковых и диэлектрических слоев с измеримой максимальной толщиной до 3 мм. Серия F3 - sX имеет испытательный диаметр пятна 10 микрон, что позволяет быстро и легко измерять мембранные слои материала, которые не могут быть измерены другими приборами для измерения толщины мембраны.

Принцип измерения - спектральное отражение

Спектральные эллиптические поляризаторы (SE) и спектральные рефлекторы (SR) используют анализ отраженного света для определения толщины и скорости преломления диэлектрика, полупроводника и металлической пленки. Основное различие между ними заключается в том, что эллипсоид измеряет свет, отраженный от пленки под небольшим углом, в то время как спектрометр измеряет свет, отраженный вертикально от пленки. Спектрометр измеряет вертикальный свет, игнорируя поляризационные эффекты (подавляющее большинство пленок симметричны вращению). Поскольку это не включает в себя какое - либо мобильное оборудование, спектральные рефлекторы становятся простыми и недорогими приборами. Спектральные рефлекторы могут быть легко интегрированы в более мощный анализ пропускания света. Спектральные рефлекторы обычно являются предпочтительными для толщины пленки более 10 м, в то время как эллипсоиды фокусируются на толщине пленки более 10 нм. При толщине от 10 нм до 10 м доступны обе технологии. И спектральные рефлекторы с быстрыми, простыми и недорогими характеристиками обычно являются лучшим выбором.

I. Основные функции

Основные виды применения

Измерение толщины толстой пленки, коэффициента преломления, альбедо и проницаемости:

Технический потенциал

Спектральный диапазон длин волн: 380 - 1580 нм

Диапазон измерения толщины: 10 нм - 3 мм.

Измерение минимальной толщины n & k: 50 нм

Точность: взять большее значение, 50 нм или 0,2%

Точность: 5 нм

Стабильность: 5 нм

Размер пятна: 10 мкм

Размер образца: диаметр от 1 мм до 300 мм или больше