Радиочастотный источник питания Paramount MF 15002 15KW

ДоговариваемыйОбновление на05/15

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Радиочастотный источник питания AE Paramount MF 15002 15KW 1,8 - 2.17 МГц RF Generator - это радиочастотный генератор с отличной производительностью и стабильностью выхода, который был проверен на месте в течение длительного времени.

Подробности о продукте

Радиочастотный источник питания Paramount MF 15002 15KW1.8-2.17MHz генератор РФЭто высокопроизводительный радиочастотный источник питания со стабильной выходной способностью и способностью управления, который был проверен на месте в течение длительного времени и продемонстрировал отличную технологическую стабильность во время фактической работы. Радиочастотный источник питания серии AE Paramount обладает отличной мембранообразовательной способностью и широко используется в полупроводниковом пленочном процессе, этот тип радиочастотного источника питания быстро и эффективно, может в определенной степени повысить эффективность производственной линии и эффективность продукта. Радиочастотный источник питания MF 15002 обеспечивает точное управление радиочастотным выходом, распылением в полупроводниковых процессах, CVD、PECVD、 Существует больше применений и хороших результатов в процессе травления.

Радиочастотный источник питания Paramount MF 15002 15KWПараметры

Производитель: AE (Advanced Energy)

Модель устройства: Paramount MF 15002

Ввод питания AC: 3 phase ~ + PE, 200 ~ 208V, 50 / 60 Гц, 70A

РЧ - выход: 15 кВт, 1,8 ~ 2,17 МГц, < 1000 VRms

通讯接口： Синхронизация ввода/вывода, CEX ввода/вывода, матч, пользователь, серия, ENET

Оборудование для охлаждения: водяное охлаждение

Потребность в воде с водяным охлаждением: давление воды MAX 6,9 бар / 690 кПа

Похожий продукт рекомендовать