Радиочастотный источник питания AE RFG 3001 13,56 МГц 3KW

Радиочастотный источник питания AE RFG 3001 13,56 МГц 3KWRF генераторЭто высокопроизводительный радиочастотный источник питания с отличной технологической стабильностью и способностью управления, который может обеспечить точное управление радиочастотным выходом и имеет отличную производительность в процессах полупроводникового распыления, травления, CVD и PECVD.Радиочастотные источники питания серии AE RFG обладают отличной технологической стабильностью и способностью к радиочастотному управлению, обеспечивая точное управление радиочастотным выходом. Радиочастотные источники питания серии RFG обладают хорошей мембранной способностью, быстрой мембранной скоростью, высокой эффективностью, широко используются в процессе производства полупроводниковых пленок, могут в определенной степени повысить эффективность производственной линии и хорошую производительность продукта. Этот тип радиочастотного источника питания в целом имеет компактный дизайн, небольшой и удобный, может снизить затраты на использование клиентов.

Радиочастотный источник питания AE RFG 3001 13,56 МГц 3KWRF генераторПараметры

Производитель: AE (Advanced Energy)

Модель устройства: RFG 3001

Ввод питания AC: 3 phase ~, ~ 208V / PE, 50 / 60 Гц

РЧ - выход: 13.56 МГц, 3000Вт, 387В ~

Интерфейс связи: Control, CEX

Оборудование для охлаждения: водяное охлаждение

Потребность в воде с водяным охлаждением: давление воды MAX 6,9 бар / 690 кПа