Клапан - бабочка BV200

ДоговариваемыйОбновление на01/07

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Клапан - бабочка BV200 представляет собой цифровой клапан управления давлением, обеспечивающий высокую точность и надежность управления давлением газа. Этот тип продукта поддерживает цифровое управление сигналами и питается от одного источника питания + 24 VDC.

Подробности о продукте

Инновации.

двухканальный самосовмещающийся датчик давления

Поддерживает сбор сигналов с помощью двух вакуумных калибров, совместимых с подачей электроэнергии с помощью вакуумных калибров ±15V или ±24, которые автоматически переключаются в соответствии с технологическими потребностями.

Самообучающиеся функциональные технологии

Поддерживает функцию самообучения, может адаптироваться к различным камерным вакуумным системам и различным условиям работы для достижения быстрого и точного управления давлением.

Технология управления давлением L - V - P

Блок управления давлением регистрирует соотношение давления и открытия клапана в технологической среде, используя сочетание трех колец положения, скорости и давления, в то же время выполняя динамический расчет отношения давления, отношения давления положения, положения давления цели и времени достижения оценки давления цели, тем самым активно вмешиваясь в изменение открытия отверстия клапана для достижения быстрого и стабильного управления давлением.

Технология сервопривода

Используя настраиваемую систему загрузки сервоуправляемой пластины, с помощью многоточечного алгоритма управления склоном для достижения более быстрого позиционирования панели бабочки, время отклика переключателя до 0,2 секунды.

область применения

полупроводниковая ИС

Мощный полупроводник

технические показатели

модель	БВ200
материал	Корпус клапана / пластина клапана	Алюминиевый сплав 6061 / нержавеющая сталь 613L
	Винт осевой / клапанной пластины	Нержавеющая сталь 316L
	Втулка подшипника	lglidur X
уплотнительное кольцо подшипника	Окружающая среда	ФКМ
уплотнительное кольцо подшипника	Вакуумный конец	ФКМ
Коэффициент утечки корпуса клапана	нержавеющая сталь	1×10E-9 мбар · л/с
интерфейс связи		RS485 (D - sub female, DB25) или DeviceNet (DNET Aviation разъем)
Установка питания	Тип интерфейса	D-суб мужчина, DA15
Установка питания	напряжение	+24 ВД постоянного тока
потребляемая мощность	Управление / привод	40 Вт
Условия использования	температура	От 0 до 50 градусов Цельсия, рекомендуется использовать ниже 35 градусов
Условия использования	влажность	0~95%RH
Параметры интерфейса калибра	Тип интерфейса	D-суб женщина, DA15
	Сигнальное напряжение	Линейное давление 0 - 10VDC
	Разрешение ADC	0,1 мВ
	Время отбора проб	2мс
	Электрическое напряжение (выход)	Макс. +24 ВДС/1,5 А
Исполнитель		Шаговый двигатель
Разрешение двигателя		12800 (90°)
точность управления давлением		5 мВ или 0,1% от заданной точки, возьмите большое значение
Класс защиты		ИП 40
Внутренний диаметр канала		40 мм / 50 мм / 63 мм / 80 мм / 100 мм
Время переключения клапанной пластины		0,2 секунды

Внимание:

Завод обычно использует напряжение для калибровки сигнала датчика.

Единицей давления газа является: Torr (Tor); MBAR (миллибар)

Стандартное состояние определяется как: температура - 27315K (0°C); Давление воздуха - 101325 Па (760 мм Hg)

В продуктах электронных ПК Huacheng единицы SCCM и "mL / min, 0°c, 1atm" эквивалентны, единицы SLM и "L / min, 0°C, 1atm" эквивалентны

F.S. (Full Scale) - значение полного диапазона; S.P. (Set Point): Установить значение с фиксированной точкой

Похожий продукт рекомендовать