-
Электронная почта
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
-
Телефон
18610520676
-
Адрес
Пекинская зона экономического и технологического развития
Категории продукта
Пекинская электронная компания с ограниченной ответственностью
Клапан - бабочка BV300
ДоговариваемыйОбновление на01/07
- Модель
- Природа производителя
- Производители
- Категория продукта
- Место происхождения
Обзор
Клапан - бабочка BV300 широко используется в полупроводниковых, плоских дисплеях, кристаллических кремниевых солнечных и промышленных процессах для управления давлением вниз по течению в камере и может быть адаптирован для быстрого управления давлением в жестких технологических условиях.
Подробности о продукте
Инновации.
двухканальный самосовмещающийся датчик давления
Поддерживает сбор сигналов с помощью двух вакуумных калибров, совместимых с подачей электроэнергии с помощью вакуумных калибров ±15V или + 24V, которые автоматически переключаются в соответствии с технологическими потребностями.
Технология управления давлением L - V - P
Элемент управления давлением регистрирует соотношение давления и открытости клапана в технологической среде, используя контракт на соединение трех колец положения, скорости и давления для динамического расчета отношения давления, отношения давления положения, положения давления цели, времени достижения оценки давления цели, тем самым активно вмешиваясь в изменение открытости отверстия клапана для достижения быстрого и стабильного контроля давления.
Самообучающиеся функциональные технологии
Поддерживает функцию самообучения, может адаптироваться к различным камерным вакуумным системам и различным условиям работы для достижения быстрого и точного управления давлением.
Технология сервопривода
Используя настраиваемую систему загрузки сервоуправляемой пластины, с помощью многоточечного алгоритма управления склоном для достижения более быстрого позиционирования панели бабочки, время отклика переключателя до 0,2 с.
область применения
полупроводниковая ИС
Полупроводник - инкапсуляция
Полупроводниковый дисплей
Полупроводниковое освещение
Полупроводниково - микроэлектромеханическая система
Мощный полупроводник
Соединения полупроводников
Технические показатели
| модель | БВ300 |
| Форма и размер фланцевого интерфейса | ISO-KF: DN40, DN50; ISO-F: DN63, DN80, DN100, DN160, DN200 |
| Коэффициент утечки | 1 × 10E-9 мбар л/с |
| Диапазон давления (при 20°C) | 1×10E-8mbar-1.2bar (абс) |
| точность управления давлением | 5 mV or 0.1%of setpoint, Взять оба |
| Входной сигнал датчика | 0-10VDC |
| материал | Корпус клапана / клапанная пластина: 316L / алюминий; Кольцо уплотнительное: Фторированный каучук / ПФУ |
| Разрешение местоположения | 12800 (угол 90°) |
| время отклика | Неуплотнение: переключатель 0.2S; уплотнение: переключатель 0.6S |
| Интерфейс связи | D-Sub, DB-25 Женская, RS422/RS485, RS232, DeviceNet, EtherCAT |
| Интерфейс питания | D-Sub, DA-15 мужчина, +24 VDC (±10%) @ 0,5 В pk-pk макс |
| Интерфейс вакуумного калибра (интерфейс датчика) | D-Sub, DA-15 женщины |
| Температура рабочей среды | 0°C до + 50°C max. (рекомендуется < 35°C) |
| Место установки | Горизонтальная и вертикальная установка |
Внимание:
Завод обычно использует напряжение для калибровки сигнала датчика.
Единицей давления газа является: Torr (Tor); MBAR (миллибар)
Стандартное состояние определяется как: температура - 27315K (0°C); Давление воздуха - 101325 Па (760 мм Hg)
F.S. (Full Scale) - значение полного диапазона; S.P. (Set Point): Установить значение с фиксированной точкой
