Линейные механические станции серии CFTCA

Линейные механические станции серии CFTCAВведение:

Геоцентрическая технология серии CFTCA линейный моторный механический стол - XY - это нанометровая точность позиционирования XY - унитарная прецизионная платформа позиционирования, линейный привод двигателя, использование прецизионных кросс - роликовых направляющих, с очень хорошими динамическими характеристиками и точностью позиционирования, холостой нагрузки до частоты 100 Гц или более. Серия CFTCA использует превосходный промышленный дизайн, внешний вид и геометрические размеры очень разумны, плоскость полного хода CFTCA - 150XY и линейность менее ±2 мкм, безопасные полые размеры до 40 мм * 40 мм. CFTCA - 250XY имеет полную плоскость хода и линейность менее ±4 мкм, а безопасные полые размеры до 50 мм * 50 мм являются ключевыми компонентами в области оптических измерений и обнаружения.

Платформа серии CFTCA имеет сложную и компактную структуру, но имеет сильную приводную способность, скорость верхней оси 1000 мм / с, ускорение холостого хода до 1 г. Настройка линейного усилителя, с виброизоляционной лабораторной средой, стабильность положения полых платформ серии CFTCA 3 нм, минимальный шаг может быть меньше 5 нм, из - за ее полых характеристик, она в основном используется в двухсторонних измерениях и испытаниях, обработке биообразцов и наблюдениях, измерениях толщины пленки и чернил и других промышленных областях и научных проектах, требующих точности позиционирования наноуровня и полых конструкций.

Стабильность и минимальное шаговое тестирование платформ серии CFTCA

Линейные механические станции серии CFTCAПримечание:

(1) После настройки 2D калибровки ортогональность может достигать 5 arc sec;

(2) Адаптировать обратную связь - AS, настроить линейный усилитель;

(3) При холостой нагрузке необходимо настроить усилитель соответствующей мощности;

(4) По умолчанию испытательная точка расположена на 25 мм над столешницей, одноосный индикатор, а показатели производительности многоосной системы связаны с фактической нагрузкой и положением рабочей точки;

(5) Другие маршруты можно настроить (например: маршрут 350 мм * 350 мм).