Стадион для кругового контроля

Стадион для кругового контроляЭто XYZT 4 - осевая платформа точного позиционирования, XYZ использует линейный двигатель, выбирает прецизионную кросс - роликовую направляющую, обладает очень хорошей производительностью и точностью позиционирования, ось XY имеет частоту отсека холостого хода до 120 Гц и выше, имеет хорошую стабильность скорости, на 4 - осевом суперпозиции с использованием частоты отбора проб интерферометра 5K для проверки ошибки положения в равномерном диапазоне CUBE - 4, динамическая ошибка следования за положением 0,5 мм стандартная ошибка STD составляет менее 50 нм на ось Z с частотой отсечки холостого хода до 200 Гц и выше. Ось Theta имеет вращающийся двигатель с прямым приводом, оснащенный круговой направляющей и решеткой, как с высокой скоростью вращения, так и с высокой точностью. Кроме того, ось Theta имеет скрытую конструкцию погружения, что делает общую высоту CUBE - 4 низкой, а снижение рабочей точки способствует повышению точности позиционирования в практическом применении.

Кроме того, Z - ось может продвигаться в пределах 30 мс на 100 мкм, настраивается до ±50 нм. CUBE - 4 - это статическая точность, которая сочетает в себе точку - точку и в то же время имеет очень выдающуюся динамическую точность, может быть адаптирована к динамическим ошибкам, требующим строгих биологических или кристаллических приложений для обнаружения и сканирования, Z - ось может быть отрегулирована в режиме реального времени в соответствии с высотой рабочего расстояния датчика, чтобы решить проблему управления движением клиента.

Тестирование динамических характеристик четырехосной платформы серии CUBE - 4

Динамическое тестирование частоты отбора проб интерферометром 5k: ошибка следования за положением равномерного сегмента XY, стандартная разность менее 50 нм на 0,5 мм STD

Минимальное шаговое тестирование четырехосной платформы серии CUBE - 4

Шаг по оси Z 100 мкм, 30 мс до ±50 нм

Стадион для кругового контроляпримечание

(1) измерение направления, параллельного или перпендикулярного клиновидному блоку;

(2) Испытания без нагрузки;

(3) Напряжение вдоль оси;

(4) Адаптировать обратную связь - AS, настроить линейный усилитель;

(5) По умолчанию испытательная точка расположена на 25 мм над столешницей, одноосный индикатор, а показатели производительности многоосной системы связаны с фактической нагрузкой и положением рабочей точки;

(6) Другие маршруты можно настроить.