двухпризматический сверхширокий непрерывный спектральный монохроматор

Появление двухпризматического сверхширокополосного непрерывного спектрального монохроматора DPM100 успешно нарушило ограничения традиционных монохроматоров в спектральном диапазоне и рассеянии света, что значительно улучшило применение спектроскопических технологий. Он покрывает сверхширокий спектр 0,4 - 7,3 эВ и может непрерывно измерять диапазон от инфракрасного до глубокого ультрафиолетового диапазона, а способность к подавлению рассеянного света достигает 8 порядков, а также имеет преимущества высокого разрешения и эффективных измерений.

Скачать DPM100двухпризматический сверхширокий непрерывный спектральный монохроматор

На переднем крае материаловедения спектроскопические технологии - включая эту пару поверхностных оптических напряжений (SPV), спектр фотоэлектрического потока (PCS), спектр фотоэлектронной эмиссии (PES), спектр оптического пропускания (OTS) и т. Д. - постепенно становятся новыми стандартами для обнаружения дефектных состояний полупроводников. Однако традиционные монохроматоры ограничены спектральным диапазоном и помехами рассеяния света, что затрудняет непрерывное и высокоточное измерение, что в определенной степени ограничивает потенциал применения соответствующих технологий. Теперь это ограничение было нарушено: оно было разработано командой Helmholtz - Zentrum (Берлин) совместно с Freiberg InstrumentsДПМ100двухпризматический сверхширокий непрерывный спектральный монохроматорБлагодаря сверхширокому спектральному диапазону 170 - 3100 нм и преимуществам подавления рассеяния на 8 порядковых порядках, были открыты совершенно новые измерения для спектроскопических применений, особенно для технологии поверхностного светового напряжения (Surface Photovoltage, SPV).

Презентация новой продукции:

Традиционные оптические системы часто полагаются на зеркала для изменения световых путей, но зеркала требуют точной калибровки и подвержены вибрации. DPM100 - это монохроматор, разработанный на основе бесзеркального расплавленного кварцевого двухпризматического каркаса, который непосредственно реализует поворот светового пути через характеристики полного внутреннего отражения призмы и уменьшает использование внешних зеркал. Реализация непрерывных измерений в ближнем инфракрасном диапазоне (0,4 eV) до глубокого ультрафиолетового диапазона (7,3 eV), как показано на рисунке 1. Важным новшеством является двухпризматическая вращающаяся система с оптической направляющей и адаптивная конструкция фокусной линзы, которая обеспечивает спектральное разрешение до уровня meV (например, UV - область с низким разрешением до 7 meV). Этот компактный прибор оптимизирован для высокочувствительных фотоэлектрических измерений и является идеальным источником света для таких приложений, как SPV.

Рисунок 1: Концептуальное проектирование сверхширокого непрерывного спектрального монохроматора DPM100, двухпризматическая структура для обеспечения широкого спектрального непрерывного покрытия

Обзор продукции:

Появление DPM100 успешно нарушило ограничения традиционных монохроматоров в спектральном диапазоне и рассеянии света, что значительно улучшило применение спектроскопических технологий. Он покрывает сверхширокий спектр 0,4 - 7,3 эВ и может непрерывно измерять диапазон от инфракрасного до глубокого ультрафиолетового диапазона, а способность к подавлению рассеянного света достигает 8 порядков, а также имеет преимущества высокого разрешения и эффективных измерений. Это мощная поддержка спектроскопических технологий, таких как поверхностное световое напряжение, спектр переходного тока с оптическим возбуждением, спектр ультрафиолетовых фотоэлектронов, спектр фотолюминесценции и т. Д., Особенно в технологии SPV, чтобы лучше удовлетворить потребности таких сценариев, как обнаружение дефектов полупроводников, и обеспечить практические и надежные инструменты для дальнейшего развития этих спектроскопических приложений.

Преимущества продукции:

I. Сверхширокий непрерывный спектр

Защитный материал с зазором 0,4 - 7,3 eV (соответствующий диапазон длин волн: 3100 - 170 нм), бесшовная поддержка спектральных измерений в полном диапазоне от инфракрасного до глубокого ультрафиолетового диапазона, без переключения решетки или фильтра, как показано на рисунке 2. Эта конструкция позволяет избежать спектральных разломов, вызванных переключением решетки, и традиционные устройства могут ошибаться на пересечении ультрафиолетового - видимого света. Сверхширокий спектральный диапазон может быть адаптирован к полному спектральному анализу дефектов материалов сверхширокой запрещенной зоны, таких как SiC (3.3eV), GaO (4.8eV) и алмаз (5.5eV).

Рисунок 2: Соотношение непрерывного спектра (0,4 - 7,3 эВ) и прочности на выходе монохроматора в полном диапазоне

II. Беззеркальная двухпризматическая структура из расплавленного кварца

Соответствие азотной продувки устраняет глубокое ультрафиолетовое затухание, вызванное повреждением покрытия зеркала, конструкция гарантирует энергетической стабильности в диапазоне 170 - 3100 нм > 95%, в то время как традиционные устройства теряют более 60% спектра в диапазоне менее 250 нм.

III. Расширенные возможности подавления рассеяния

Способность подавлять более 8 порядков (измеренное рассеяние помех ниже 100 фА) обеспечивает чистоту спектрального сигнала и точное обнаружение слабого дефектного состояния.

Высокая чувствительность и эффективность

В сочетании с широкополосным детектором 210 дБ (специализированная * технология DE102023003991.8) можно измерить слабый ток класса FA, время измерения в одной точке составляет всего 1 - 7 секунд, что значительно повышает эффективность эксперимента.