плазменная очистительная машина сухой очистки

I. Рабочий оригинал оборудованияразум

Плазма - это состояние существования вещества, в котором присутствуют следующие вещества: электроны, находящиеся в состоянии высокоскоростного движения; Нейтральные атомы, молекулы, группы атомов (свободные радикалы) в активном состоянии; Ионизированные атомы, молекулы; Нереакционирующие молекулы, атомы и т. Д. Но вещество в целом остается электрически нейтральным.

Trymax NEO Series использует свойства этих активных компонентов для обработки поверхности образца, высвечивает высокоэнергетическую неупорядоченную плазму с помощью радиочастотного / микроволнового источника энергии в определенных вакуумных условиях и бомбардировает очищенную поверхность продукта плазмой для достижения таких целей, как очистка, модификация и золирование фоторезиста.

II.Тримакс НЕО Серия Аиспользовать

Предыдущий:Свет гравировка; Дескум полосы; PR Ashing； После ионной инъекции, после фотолитографии, перед покрытием и другие технологические процессы; Задняя / Расширенный пакет / 3D IC: Descum удар; МЭМС; Плазма лечение; Вафер Клининг и т.д.

DispenseMate®Система обеспечивает технологию управления клеем на основеСеверная АСИМТЕКУсовершенствованные онлайновые системы клея, включая управление замкнутым контуромDCСистемы управления движением,Jet-on-the-FlyФункция распыления клея и интуитивно понятное программирование для клиентовFluidmove ®Программное обеспечение.

Другие стандартные конфигурации включают в себя интегрированный механический высотный детектор и полностью автоматическую идентификационную визуальную систему с программным управлением источником света. Кроме того, стандартная конфигурация включает программируемые сопла с замкнутым контуром и управление нагревом игл, которые программируются для мониторинга температуры и записи данных. В то же время он также включает в себя динамическое управление клеем для небольших точек клея.

офлайн МФК/КПЖдаD-593Стандартные характеристики типа, Измерение путем взвешивания образцов и ручного ввода значений в диапазоне значений пользователяFluidmoveАвтоматический расчет трафика.

FluidmoveПрограммы могут быть совместимы вверх и легко переноситься на другие.компанией Nordson ASYMTEKОнлайн - системы, включаяСпектр II^ТМиКвантовой®Платформа для клея.

Кроме того,FluidmoveПрограммное обеспечениеСПКРегистрация данных для отслеживания технологических процессов и дополнительныхКАДИмпорт.

От массового производства до массового производства пользователи всегда будут получатькомпанией Nordson ASYMTEKПоддержка глобальной сети опытных инженерных, прикладных разработок и технических услуг.

ТримаксУсовершенствованное плазменное озеленение и травлениеНЕО300А/НЕО200АСерия платформ

НЕО300АСерия платформ являетсяТримаксПроизводство полупроводникового оборудования 的НЕОСерия усовершенствованных изделий для плазменного озоления и травления Один из новых членов.

Это полностью автоматическая однокамерная система, которая может быть настроена на любой существующийТримакс NEOТехнологический модуль и с диаметром до300 ммФундаментальная совместимость. Небольшая площадьНЕО300АНастройка имеет один порт загрузки.

• Характеристики

- большой300Размер круга миллиметра/Размер фундамента

-Мощность мостового инструмента200-300mm

-одиночныйСМИФПорт загрузки

-3двухсторонняя роботизированная обработка вала

-4Различные модули обработки:

• Микроволновые (2,45 ГГц)

• Радиочастотное смещение (13,56 МГц)

• Двойной источник (микроволновое, радиочастотное смещение)

•DCP(РФСмещение, плазма с прямой связью)

-Превосходная однородность и повторяемость.

-Механическая пропускная способность> 100wph

-Компактные следы.

-Очень низкая стоимость владения

- Цифровой контроль,ДевиценетЭфир

-Промышленные компьютеры на основе окон

• Приложения

-Блокирующая полоса

Дескумобработка

-Удаление полимеров

-Высокая доза имплантации по почте

-Применение нитрида кремния

МЭМСПриложения

-Обработка упаковки (PRА,ПИА,БКБА,ПБО)

НЕО200АСерия платформ являетсяТримаксПроизводство полупроводникового оборудования 的НЕОПродвинутый ассортимент продукции для подзоливания и травления Новые члены.

Это полностью автоматическая однокамерная система, которая может быть настроена на любой существующийТримакс NEOТехнологический модуль и с диаметром до200 ммФундаментальная совместимость. Небольшая площадьНЕО200АНастройка с двумя кассетами.

• Характеристики

- большой200 ммРазмер кристаллической окружности/Размер фундамента

-Двухкассетная платформа

-3двухсторонняя роботизированная обработка вала

-4Различные модули обработки:

• Микроволновые (2,45 ГГц)

• Радиочастотное смещение (13,56 МГц)

• Двойной источник (микроволновое, радиочастотное смещение)

•DCP(РФСмещение, плазма с прямой связью)

-Превосходная однородность и повторяемость.

-Механическая пропускная способность> 100wph

-Компактные следы.

-Очень низкая стоимость владения

- Цифровой контроль,ДевиценетЭфир

-Промышленные компьютеры на основе окон

• Приложения

-Блокирующая полоса

Дескумобработка

-Удаление полимеров

-Высокая доза имплантации по почте

-Применение нитрида кремния

МЭМСПриложения

-Обработка упаковки (PRА,ПИА,БКБА,ПБО)

Trymax полупроводниковое оборудование的НЕО200Серия Продвинутое плазменное озеленение/Система травления является Новое оборудование для фоторезиста и травления, доступное по удивительной цене Производительность. Специально для большой200 ммБазовая плата была спроектирована для применения.

Он оснащен гибкой погрузочной станцией, которая может быть настроена для обработки большой200 ммБазовые платы всех размеров.

НЕО200Серия объединяет в себе все требования к компактному дизайну для исследований и производителей оборудования и достижима Низкие затраты на владение.

• Характеристики

- большой200 ммРазмер кристаллической окружности/Размер фундамента

-Одна погрузочная платформа для полуавтоматической передачи кристаллических кругов.

-4Различные модули обработки:

• Микроволновые (2,45 ГГц)

• Радиочастотное смещение (13,56 МГц)

• Двойной источник (микроволновое, радиочастотное смещение)

•DCP(РФСмещение, плазма с прямой связью)

-Превосходная однородность и повторяемость.

-Компактные следы.

-Очень низкая стоимость владения

- Цифровой контроль,ДевиценетЭфир

-Промышленные компьютеры на основе окон

• Приложения

-Блокирующая полоса

Дескумобработка

-Удаление полимеров

-Высокая доза имплантации по почте

-Применение нитрида кремния

МЭМСПриложения

-Обработка упаковки (PRА,ПИА,БКБА,ПБО)