Динамический вторичный ионный масс - спектрометр D - SIMS

ADEPT - 1010 предназначен для автоматического анализа поверхностных полупроводниковых инжекционных и изоляционных пленок и является широко используемым инструментом в большинстве лабораторий по разработке и поддержке полупроводников. Оптимизированная оптическая система вторичного сбора ионов и сверхвысокая вакуумная конструкция обеспечивают чувствительность, необходимую для обнаружения легированных компонентов и общих примесей в тонкопленочной структуре.

Динамический вторичный ионный масс - спектрометр (Dynamic Secondary Ion Mass Spectrometry, D - SIMS) - высокочувствительный метод анализа поверхности для анализа состава твердых материалов.

ADEPT - 1010 предназначен для автоматического анализа поверхностных полупроводниковых инжекционных и изоляционных пленок и является широко используемым инструментом в большинстве лабораторий по разработке и поддержке полупроводников. Оптимизированная оптическая система вторичного сбора ионов и сверхвысокая вакуумная конструкция обеспечивают чувствительность, необходимую для обнаружения легированных компонентов и общих примесей в тонкопленочной структуре.

Принцип работы:

Динамический масс - спектрометр вторичных ионов сбрасывает атомы или молекулы с поверхности образца путем бомбардировки поверхности образца с помощью сфокусированных высокоэнергетических первичных ионных пучков (например, Oneneneed, Cs, Ar и т.д.). В ходе этого процесса частицы, испускаемые частичными брызгами, заряжаются, образуя вторичные ионы. Эти вторичные ионы собираются и передаются в масс - спектрометр для анализа, который позволяет определить химический состав образца и распределение элементов.