ЭП - ректификационная установка

ДоговариваемыйОбновление на12/18

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Устройство для ректификации класса EP является основным оборудованием для производства электронных специальных газов, очищаемых прецизионной ректификацией, так что чистота газа составляет более 99999% для удовлетворения потребностей в полупроводниках

Подробности о продукте

Основные определения и сценарии применения

Установка для ректификации класса EP, или Electronic Pure, представляет собой высокоточное оборудование для очистки газов, специально предназначенное для электронной промышленности. Он удаляет микропримеси в газе (например, влагу, ионы металлов, углеводороды и т. Д.) посредством многократного и точного процесса ректификации, что в конечном итоге приводит к чистоте газа выше 99999% (5N), а некоторые сценарии могут достигать чистоты 99999% (6N).

В основном используется в производстве полупроводниковых чипов, производстве фотоэлектрических батарей, обработке электронных компонентов и других областях, для коррозии, осаждения и других ключевых процессов, чтобы обеспечить высокую чистоту электронного газа (например, водород, кислород, аммиак и т. Д.), непосредственно влияет на качество и производительность продукта.

II. Основные принципы работы

Основываясь на принципе ректификации « разной точки кипения различных веществ», в сочетании с жесткими требованиями к производству электронного уровня, процесс делится на три этапа:

Этап предварительной обработки: исходный газ сначала проходит фильтрацию, сушку и другую предварительную обработку, чтобы удалить большую часть твердых частиц и влаги, чтобы избежать последующей блокировки или загрязнения оборудования.
Этап прецизионной ректификации: предварительно обработанный газ поступает в специальную ректификационную колонну, которая увеличивает площадь контакта газа с жидкостью через тарелку или наполнитель. Используя цикл подогрева дна башни и конденсации верхней части башни, легко летучие компоненты (целевой газ) в газе многократно отделяются от труднолетучих компонентов (примесей) и постепенно повышают чистоту.
Последующая стадия очистки: газ, производимый с верхней части ректификационной колонны, затем подвергается адсорбции, мембранному разделению и другой вторичной очистке, что еще больше снижает содержание микропримесей и в конечном итоге достигает стандарта EP.

III. Ключевые технические характеристики

Материал специальный: для удовлетворения потребностей очистки, EP - класс ректификационные установки контактируют с газом детали (например, ректификационные колонны, трубопроводы, клапаны) в основном с использованием 316L нержавеющей стали или сплава Харли, а внутренняя стенка подвергается электролитической полировке (полировке EP), чтобы уменьшить адсорбцию и растворение примесей.
Точность управления: оснащен высокоточными датчиками температуры, давления, расхода и системой автоматического управления, которая регулирует параметры ректификации в режиме реального времени (например, дисперсия температур в башне контролируется в пределах ±0,1°C) для обеспечения стабильности чистоты.
Конструкция сверхнизкой утечки: использование герметичной конструкции и технологии масс - спектрометрии гелия, скорость утечки контролируется ниже 1 × 10 ⁻Pa m³ / s, чтобы предотвратить проникновение внешних примесей.

Похожий продукт рекомендовать