GSL - 1800X - ZF - AM Система непрерывного многокамерного испарительного покрытия

ДоговариваемыйОбновление на12/13

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Непрерывная многокамерная система испарительного покрытия GSL - 1800X - ZF - AM представляет собой высоковакуумный непрерывно поступательный испарительный мембранометр, состоящий в основном из двух частей: передающей камеры и испарительной камеры покрытия. Базовая рама может осуществлять возвратно - поступательное движение в передающей и распыляющей камерах, управляться FM - двигателем, автоматически работать в одном и том же направлении, а возвратно - поступательное положение и скорость движения могут быть установлены, обе комнаты имеют функцию позиционирования, которая позволяет восстановить исходную точку. Особенно подходит для испарения более чувствительных к кислороду металлических пленок (например, Ti, Al, Au и т.д.) и небольших молекул органических веществ.

Подробности о продукте

Описание продукта GSL-1800X-ZF-AM连续式多腔室蒸发镀膜系统

GSL - 1800X - ZF - AM Система непрерывного многокамерного испарительного покрытияЭто высоковакуумный непрерывно поступательный испарительный мембранометр, состоящий в основном из двух частей: передаточной камеры и испарительной камеры покрытия. Базовая рама может осуществлять возвратно - поступательное движение в передающей и распыляющей камерах, управляемых FM - двигателем, автоматически синхронизируется, а возвратно - поступательное положение и скорость движения могут быть установлены, обе комнаты имеют функцию позиционирования, чтобы достичь сброса исходной точки. Особенно подходит для испарения более чувствительных к кислороду металлических пленок (например, Ti, Al, Au и т.д.) и небольших молекул органических веществ. Машина оснащена четырьмя нагревательными лодками с паровым покрытием, каждая нагревательная лодка может быть независимо испарена, над нагревательной лодкой есть вращающаяся перегородка, когда одна из нагревательных лодок испаряется, перегородка закрывает остальные три вольфрамовые лодки, чтобы предотвратить взаимное загрязнение между испарительными материалами. Если часть конфигурации также может быть изменена для достижения испарительного покрытия органических материалов, может соответствовать требованиям исследований в области светоизлучающих устройств и органических солнечных элементов, является идеальным покрытием и более экономичным экспериментальным оборудованием. Нижняя часть полости испарителя GSL - 1800X - ZF4 оснащена пятью электродами с водяным охлаждением, которые во время работы эффективно защищают электроды от переплавки из - за высокой температуры и, следовательно, повреждения электродов. Машина использует металлическую камеру, с высокой степенью вакуума, вакуум может достигать 5.0×10^-7torr， Станция для отбора образцов может нагревать образцы при комнатной температуре - 500°C, является оборудованием для высоковакуумного испарительного покрытия.

Основные характеристики GSL-1800X-ZF-AM连续式多腔室蒸发镀膜系统

Состоит из двух частей: передаточной камеры и испарительной камеры, которая обеспечивает быстрое и непрерывное испарительное покрытие.
Все блоки вакуумного управления собраны в одну коробку управления.
Используйте независимый контроллер парового тока, который работает легко и быстро.
Вакуумная полость имеет один боковой насосный клапан KF40 (непосредственно связанный с передним механическим насосом, повышающий эффективность), один задвижной клапан CF150 (непосредственно связанный с молекулярным насосом), один фланец KF16 (монтажный резистор), шесть фланцев CF35 (1 установочный ионизационный калибр, 1 установка 2 - жильного электрода, 1 установка толщиномера мембраны) и три резервных.
В нижней части полости имеется 5 электродов с водяным охлаждением, которые поддерживают 4 нагревательные лодки с паровым покрытием.
Станция для образцов установлена в верхней части полости.
В полости может быть установлен тонкопленочный толщиномер с высоким разрешением, с разрешением измерения толщины пленки (алюминий) 0,1 ао.
Можно использовать циркулирующий водяной охладитель.

технические параметры GSL-1800X-ZF-AM连续式多腔室蒸发镀膜系统

название продукта	GSL - 1800X - ZF - AM Система непрерывного многокамерного испарительного покрытия
модель продукта	GSL-1800X-ZF-AM
Условия установки	Данное оборудование требуется при температуре 25°C ±15 °C и влажности 55% Rh ±10% Rh. Вода: Оборудование оснащено самоциркулирующей охлаждающей водой (с наполнением чистой или деионизированной водой) Электричество: AC220V 50Hz, должно быть хорошее заземление 3, рабочий стол: приземление, площадь 2 м²Выше. 4. Вентиляционные устройства: необходимо
Основные параметры	1, вход: однофазный AC220V, 50 Гц / 60 Гц, мощность < 2.16 кВт (без вакуумных насосов)
	Выход испарения: непрерывно регулируемое напряжение AC 0 - 8V, предельный ток испарения 200A, предельная мощность испарения < 1,6 кВт
	3, вакуумная полость: 300 мм (внутренний диаметр) × 360 мм (высокий), нержавеющая сталь, внутренняя стенка электрополирована
	4, окно наблюдения: 100 мм, герметизировано специальным уплотнительным кольцом
	5, вакуумный насос: турбомольный молекулярный насос с высокой скоростью накачки, скорость накачки 600 л / с
	6、真空度： 8,0х10^-4Па
	Предельный вакуум 8.0x10^-5Па
	8. Коэффициент утечки: 6,7×10^-8Па·Л/С
	9, стол образцов: Фи 120
	10. Расстояние между испарительной лодкой и стендом для образцов: 140 - 200 мм
	Потребность в охлаждающей воде: 15 л / мин
	12.Температура нагрева стенда образца: комнатная температура ~ 500 °C, может автоматически контролировать температуру, измерять температуру

Похожий продукт рекомендовать