VTC - 600 GC - AM Непрерывная многокамерная система покрытия с магнитным распылением

Описание продукта

VTC - 600 GC - AM Непрерывная многокамерная система покрытия с магнитным распылениемЭто недавно разработанное и разработанное оборудование для покрытия, в основном состоит из двух частей: передаточной камеры и камеры распыления покрытия, рама фундамента может реализовывать возвратно - поступательное движение в передающей и распыляющей камерах, управляется FM - двигателем, автоматически синхронизируется, а возвратно - поступательное положение и скорость движения могут быть установлены, обе камеры имеют функцию позиционирования, чтобы достичь сброса исходной точки. Может использоваться для изготовления однослойной или многослойной ферроэлектрической пленки, проводящей пленки, сплавной пленки, полупроводниковой пленки, керамической пленки, диэлектрической пленки, оптической пленки, оксидной пленки, твердой пленки, полифторэтиленовой пленки и т.д.VTC - 600 GC - AM Непрерывная многокамерная система покрытия с магнитным распылениемВозможна установка нескольких целевых пушек, комплектующих радиочастотных источников питания для распыления непроводящих мишеней, комплектующих источников постоянного тока для распыления проводящих материалов. По сравнению с аналогичными устройствами, он не только широко используется, но и имеет преимущества объемного мочеиспускания для работы, является идеальным оборудованием для лабораторной подготовки пленки материала, особенно для лабораторных исследований твердотельных электролитов и OLED и так далее.

Основные характеристики

• Состоит из двух частей: передаточной камеры и камеры распыления, которая обеспечивает быстрое и непрерывное напыление проб.

• Возможна установка нескольких целевых пушек, комплектующих радиочастотных источников питания для распыления непроводящей мишени, комплектующих источников постоянного тока для распыления проводящего материала покрытия (мишень может быть произвольно изменена в соответствии с потребностями клиента).

• Могут быть изготовлены различные тонкие пленки, широко используемые.

• Небольшой размер, операция проста.

• Модульная конструкция всей машины, передающая камера, вакуумная камера, вакуумная насосная группа, распределенная конструкция источника питания управления, может быть отрегулирована в соответствии с фактическими потребностями пользователя.

• В соответствии с фактическими потребностями пользователя можно выбрать источник питания, один источник питания может управлять несколькими целевыми пушками, а несколько источников питания могут управлять одним целевым пистолетом.

технические параметры