высокоточный детектор содержания элементов в полупроводниковых материалах

высокоточный детектор содержания элементов в полупроводниковых материалах

Основные технологии и приборы обнаружения

1. Спектроскоп плазменного излучения с индуктивной связью (ICP - OES)

• Лабораторные приборы (ICP-OES)подробныйКраткое описаниеА.

• ИнструментыХарактеристики производительности:

• 1.Высокая степень автоматизации приборов

• Степень автоматизации прибороввысокийВсе операции, кроме выключателя питания, выполняются программным обеспечением. Интеллектуальное программное обеспечение позволяет в режиме реального времени получать обратную связь и подсказки о различных операциях.

• 2.Безопасный и надежный твердотельный радиочастотный источник

• Радиочастотный источник питания, используемый прибором, имеет небольшой размер, высокую выходную эффективность, стабильность выходной мощности, с различными функциями безопасности, такими как водный путь, газовый путь и перегрузка, что значительно повышает безопасность прибора и уменьшает частоту отказа прибора.

• Полностью автоматическое зажигание и соответствующая технология

• Программное обеспечение может полностью автоматически зажигать одним нажатием клавиши, все изменения параметров выполняются автоматически. С технологией автоматического согласования, высокая скорость успеха зажигания, простая работа.

• Интеллектуальная функция наблюдения за пламенем

• Прибор настроен на чувствительность.высокийВолоконно - оптический датчик, который может контролировать работу пламени в режиме реального времени в рабочем состоянии прибора, может автоматически выключать прибор в случае аномального выключения.

• Световые системы с очень высоким разрешением

• Инструменты оснащены сверхвысоким разрешением.4320 Штрих к входной решетке, совместимый*Технология регулировки оптического пути, позволяющая приблизить разрешение обычных приборов0, 008 нм уменьшается до 0, 005 нм, сверхвысокое разрешение гарантирует отсутствие взаимных помех между тестируемыми элементами.

• 6.точностьвысокийТермотермическая система

• Общий оптический путь прибора защищен прецизионной термостатической системой, контроль температуры может быть установлен в режиме реального времени в соответствии с фактической температурой окружающей среды в лаборатории клиента, не требует длительного непрерывного включения и регулировки, точность контроля температуры± 0, 1°C, точная термостатическая система обеспечивает стабильность оптического пути, тестовые данные более стабильны.

• 7 Высокоточная система управления воздушным потоком

• Плазменный газ, вспомогательный газ и воздушная нагрузка в работе прибора все с использованием высокоточного контроллера потока массы (MFC) для управления, с непрерывной регулируемостью потока, высокой точностью выходного воздушного потока, обеспечивает точность тестовых данных.

• 8.устройство подачи проб с ползучим насосом

• Инструмент оснащен каналом двенадцати роликов высокоточного ползучего насоса, который одновременно обеспечивает точность входящего образца и предотвращает накопление жидкости, скорость вращения ползучего насоса непрерывно регулируется, чтобы удовлетворить различные требования к тестированию клиента.

• 9 Автоматическое регулирование местоположения наблюдения

• Инструмент использует двухмерную конструкцию мобильной платформы, которая может регулировать положение трубки горелки в режиме реального времени с помощью программного обеспечения и находить оптимизированное положение наблюдения с помощью значений сигнала обратной связи, чтобы получить более сильную чувствительность и получить точные результаты тестирования.

• 10 Очень низкие затраты на использование

• В нерабочем состоянии прибора все источники питания прибора, резервуары охлаждающей воды, газ выключены без каких - либо затрат, работа прибора открыта и используется без длительного подогрева оптического пути. Использовать чистоту аргона для99, 99*% достаточно, без 99%, 999% высокочистого аргона, экономия затрат не менее одной трети.

• 11 ЧувствительностьвысокийДетектор

• Устройство оснащено высокочувствительным входным фотоумножителем (В качестве детектора PMT может автоматически устанавливать параметры тестирования для различных подлежащих измерению элементов, чтобы достичь желаемого состояния обнаружения и дать точные результаты тестирования. Нет необходимости в охлаждении, нет необходимости продувать, длительный срок службы.

• МКП-ОЭСИнструментыТехнические параметры:

• 1, входной источник питания: переменный ток напряжения 220В, ток 20А.

• 2.ПрименениеСветовой путь Czerny Turner с фокусным расстоянием 1000 мм.

• 3, ионное травление голографической решетки, площадь нанесения (80×110) мм.

• 4.Полностью автоматическое зажигание одним нажатием клавиши, автоматическое согласование, зажигание стабильно и удобно.

• 5, с концентрическим круговым распылителем с вихревой туманной камерой, прочность 1 ppmmn > 100000cps.

• Разрешение (Mn257, 610 нм): 0, 005 нм (4320 штриховая решетка); 0, 008 нм (3600 штриховых решеток); 0, 015 нм (2400 штриховая решетка).

• 7, диапазон длин волн: 190 - 460нм (4320 штриховая решетка); 190 - 500 нм (3600 штриховых растров); 190 - 800 нм (2400 штриховая решетка)

• 8. Автономная разработка полностью твердотельных радиочастотных источников питания, выходная мощность 800 - 1600 Вт, непрерывно регулируемая, эффективность питания более 65%, рабочая частота 27, 12 МГц, стабильность частоты < 0, 05%, стабильность выхода мощности < 0, 05%.

2. Рентгеновский флуоресцентный спектрометр (XRF)

• Быстрый скрининг металлических загрязнителей на поверхности кремниевых пластин.

• Проверка чистоты кварцевого тигеля.

• Низкая чувствительность к легким элементам (например, H, He, Li, Be) (предел обнаружения > 0,1%).

• Количественная точность зависит от эффекта матрицы (относительная погрешность около 1 - 5%).

• Неразрушающее обнаружение:: Образцы не должны растворяться или измельчаться, они могут непосредственно анализировать твердые вещества, порошок, жидкость.

• Широкий охват тестирования:: Можно анализировать подавляющее большинство элементов от натрия (Na) до урана (U).

• Быстрый скрининг:: Время обнаружения занимает от нескольких секунд до нескольких минут и подходит для массового тестирования на производственных линиях.

• Дифференцированный тип длины волны (WDXRF): Высокое разрешение, подходит для высокоточного количественного анализа.

• Дифференцированный тип энергии (EDXRF): Быстрая, портативная, подходит для анализа на месте.

• принцип:: облучение образцов рентгеновскими лучами, возбуждение характерных флуоресцентных рентгеновских лучей, определение типа и содержания элементов путем определения длины волны и интенсивности.

• классификацияА.

• преимуществоА.

• 局限性А.

• сценарий примененияА.

• сценарий примененияА.

высокоточный детектор содержания элементов в полупроводниковых материалах