FlexSEM1000 - это новейшая модель компании Hitachi Hyundai с небольшими и превосходными характеристиками вольфрамовых ламповых зеркал, с большим потоком пучка и низкой сферической разностью объективов и конденсаторов, оснащенных вторичным электронным зондом с высоким разрешением и высокочувствительным пятисегментным зондом с пятью сегментами заднего рассеяния, с превосходной энергией формирования изображений в вакууме, а также с новейшей высокоточной навигационной системой SEMMAP и новейшими и новейшими функциями полной автоматизации, чтобы сделать производительность более простой и простой в использовании
FlexSEM1000 - это новейшая модель, представленная Hitachi High - Technology Corporation с небольшой и превосходной производительностью вольфрамовых ламповых зеркал, с большим потоком луча и низкой сферической разностью объективов и конденсаторов, оснащенных вторичным электронным зондом с высоким разрешением и высокочувствительным пятисекционным зондом с пятью сегментами заднего рассеяния, с превосходной энергией формирования изображений в вакууме, а также с новейшей высокоточной навигационной системой SEM MAP и новейшими и новейшими функциями полной автоматизации, что делает производительность более высокой и простой в использовании.
Особенности:
1. Энергосберегающий и экологически чистый дизайн
2. Эффективные автоматические функции
3. Простой операционный интерфейс
4. Наблюдения с высоким разрешением и низким вакуумом
Технические параметры:
| Разрешение |
4.0 нм (ускоренное напряжение 20 кВ, высоковакуумный режим, вторичное электронное изображение) |
| |
15.0нм (ускоренное напряжение 1кВ, высоковакуумный режим, вторичные электроны) |
| |
5.0nm (ускоренное напряжение 20 кВ, низковакуумный режим, электронное изображение обратного рассеяния) |
| Увеличение |
Частота негатива: 6 - 300000x |
| |
Частота экрана: 16 - 800000x |
| напряжение ускорения |
0,3-20 кВ |
| низковакуумный диапазон переменного давления |
6-100Па |
| Мадагаскар |
Стандартный трехосный автоматический мотор |
| Маршрут |
Х: 0-40 мм |
| Y: 0-50мм |
| R: 360 ° |
| З: 5-15 мм |
| Т: -15-90° |
| Электрооптическая система |
Электронная пушка: предохранительная вольфрамовая проволока |
| Системы обнаружения сигналов: вторичные электронные детекторы; Высокочувствительный детектор обратного рассеяния |
| Вакуумная система |
Система вакуумного насоса / турбомольный молекулярный насос с автоматическим управлением клапанами: 61L / S 1 |
| Механические насосы: 100L / min 1 шт. |
| Устройства безопасности: вакуумная защита с защитой от отключения и утечки |
| Операционная помощь |
Вращение электронного луча; Динамическая фокусировка; Оптимизация качества изображения. |
| Ввод данных; Измерение между точками 2, измерение угла, текст; Предназначенное увеличение; |
| Функция навигации по местоположению стенда образцов (SEM MAP); Маркировка электронным лучом |