Измерение на чипе Лэй

Измерение на чипе Лэй

Поскольку использование фотоэлектрических компонентов в области телекоммуникаций и технологий отображения продолжает расширяться, экстенсивная технология становится ключевой технологией для производства компонентов. Экстраполяция - это процесс осаждения очень тонкого слоя полупроводникового материала на поверхности монокристаллической пластины. Каждый кристаллический слой называется эпитаксиальным.

Измерение

шероховатость поверхности
Для клиентов и поставщиков текстура поверхности является чрезвычайно важным параметром для определения качества расширенных полупроводников. Для современных дисков диапазон допусков к шероховатости становится более узким, поскольку схемы, которые должны быть напечатаны на кремниевых пластинах, становятся все меньше и меньше. Поверхностная шероховатость чипа Лэй определяется на наноуровне, поэтому для этого требуется использование системы с очень низким уровнем шума и высоким разрешением для измерения чипа Лэй.