Радиочастотный источник питания MKS 53 - S30 - 64 63,87 МГц 18 кВт

ДоговариваемыйОбновление на05/15

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Радиочастотный источник питания MKS 53 - S30 - 64 63,87 МГц 18 кВт RF Generator представляет собой высокопроизводительный радиочастотный источник питания с отличной технологической стабильностью и управлением, который был проверен на месте в течение длительного времени.

Подробности о продукте

Радиочастотный источник питания MKS 53 - S30 - 64 63,87 МГц 18 кВт RF генераторЭто отличный радиочастотный генератор с надежной производительностью и стабильной выходной способностью, проверенный на месте, который демонстрирует отличную технологическую стабильность и возможности управления выходом в реальной проверке машины. Этот тип радиочастотного источника питания может обеспечить точное управление радиочастотным выходом, широко используется в полупроводниковых процессах распыления, CVD、PECVD、 Травление и другие процессы, и имеет отличную производительность. Радиочастотный источник питания RD5060Z обладает отличной мембранной способностью, в процессе полупроводниковой пленки, имеет преимущества быстрой мембранной скорости, высокой эффективности и хорошего качества, в определенной степени может повысить эффективность производственной линии и хорошую скорость готовой продукции, имеет очень широкий спектр применений.

Радиочастотный источник питания MKS 53 - S30 - 64 63,87 МГц 18 кВт Параметры RF Generator

Торговая марка оборудования: MKS

Модель оборудования: 53 - S30 - 64

Ввод питания AC: 3 phase ~, 380 / 400 VAC ± 10%, 16A, 50 / 60 Гц

РЧ - выход: 63,87 МГц, 18 кВт Pulsed, 540 Watts, 50 Ом

Интерфейс связи: Remote, RS - 232C

Оборудование для охлаждения: охлаждение воздуха

Похожий продукт рекомендовать