Радиочастотный источник питания MKS RD5060Z 60 МГц 2000W

Радиочастотный источник питания MKS RD5060Z 60 МГц 2000WRF генераторЭто отличный радиочастотный генератор с надежной производительностью и стабильной выходной способностью, проверенный на месте, который демонстрирует отличную технологическую стабильность и возможности управления выходом в реальной проверке машины. Этот тип радиочастотного источника питания может обеспечить точное управление радиочастотным выходом, широко используется в полупроводниковых процессах распыления, CVD、PECVD、 Травление и другие процессы, и имеет отличную производительность. Радиочастотный источник питания RD5060Z обладает отличной мембранной способностью, в процессе полупроводниковой пленки, имеет преимущества быстрой мембранной скорости, высокой эффективности и хорошего качества, в определенной степени может повысить эффективность производственной линии и хорошую скорость готовой продукции, имеет очень широкий спектр применений.

Радиочастотный источник питания MKS RD5060Z 60 МГц 2000WRF генераторПараметры

Торговая марка оборудования: MKS

Модель устройства: RD5060Z

Ввод питания AC: 3 фазы ~, 480 В, 15А

РЧ - выход: DUAL 2.0KW, 60 МГц

通讯接口： CEX Вход/Выход, Profibus, EtherNet, Синхронизация Входа/Выхода, Зарезервированный, RS-232C

Оборудование для охлаждения: водяное охлаждение

Вес оборудования: 445 кг, 98lbs