-
Электронная почта
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
-
Телефон
18610520676
-
Адрес
Пекинская зона экономического и технологического развития
Пекинская электронная компания с ограниченной ответственностью
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
18610520676
Пекинская зона экономического и технологического развития
Инновации.
Технология датчика давления на основе PTS
Технология контроля давления на основе ИИ
Коррозионная стойкость цельнометаллов
область применения
Полупроводники - Показать
полупроводниковая ИС
Полупроводники - освещение
Чистая энергия - фотоэлектричество
Технические показатели
| модель | ПЦ100 |
| Тип давления | Абсолютное давление |
| Полный диапазон контроля давления | 1000 Торр, 1200 Бар |
| Давление | 3МПа |
| Полный расход клапана | 50, 500sccm; 1, 2, 3 и 5 SLM |
| Режим управления | Верхние течения |
| Коэффициент температуры | Нуль: ±0,02% F.s./℃; Расширение: ±0,04% чтения/℃ |
| Разрешение давления | 0.1 Т |
| точность управления давлением | ±1,0% чтения (≥10%FS); ±0,2% F.S. (<10%FS) |
| время отклика | <1,0 С |
| Диапазон рабочих температур | 10℃~50℃ |
| Механический интерфейс | Двойной патрон 1 / 4 ', VCR 1 / 4 "штуцер |
| Тип клапана | нормально закрытый |
| Утечка | <1х10-10(scc/sec Он) |
| Внутренняя утечка | < 1.0% от расхода полного диапазона устья клапана (при закрытии клапана входной конец составляет 25 psig, выходной конец - атмосфера) |
| источник питания | +15 ~ +24 ВПС (<4 ватта) |
| Электрический интерфейс | Иглы DB - 9, разъемы EtherCAT |
Внимание:
Газовый регулятор давления обычно производится азотом (N)2) Маркировка.
Единицей давления газа является: Torr (Tor); MBAR (миллибар)
Стандартное состояние определяется как: температура - 27315K (0°C); Давление воздуха - 101325 Па (760 мм Hg)
В продуктах электронных ПК Huacheng единицы SCCM и "mL / min, 0°C, 1atm" эквивалентны, единицы SLM и "L / min, 0°C, 1atm" эквивалентны.
F.S. (Full Scale) - значение полного диапазона; S.P. (Set Point): Установить значение с фиксированной точкой