-
Электронная почта
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
-
Телефон
18610520676
-
Адрес
Пекинская зона экономического и технологического развития
Пекинская электронная компания с ограниченной ответственностью
zhaoqiannan@sevenstar.com.cn
18610520676
Пекинская зона экономического и технологического развития
Инновации.
Поддержка широкополосного питания с двойным питанием
Четыре комбинированные формы аналогового напряжения
Верхнее и нижнее давление
область применения
полупроводниковая ИС
Полупроводники - Показать
Биологические науки - аналитические приборы
Научно - исследовательские - экспериментальные средства
Технические показатели
| модель | ПЦ210 |
| Тип давления | Абсолютное давление |
| Полный диапазон контроля давления | Абсолютное давление: 100 Torr, 200 Torr, 1000 Torr; 300Kpa |
| Давление | 3МПа |
| Полный расход клапана | 200СКМ; 1, 2, 4, 5, 10, 20SLM |
| Режим управления | Верхнее и нижнее течения |
| Коэффициент температуры | Нуль: ±0,04% F.s./℃; Расширение: ±0,04% чтения/℃ |
| Разрешение давления | 0.1 Т |
| точность управления давлением | ±0,5% от чтения |
| Диапазон рабочих температур | 10℃~50℃ |
| Механический интерфейс | VCR 1 / 4 'Янг штуцер, VCR1 / 2' Янг штуцер |
| Тип клапана | нормально закрытый |
| Утечка | <1х10-9(scc/sec Он) |
| Внутренняя утечка | < 1.0% от полного расхода клапана или 1 sccm (1 атмосферное давление N2) |
| источник питания | ±15VDC |
| Электрический интерфейс | DB - 15 Иглы |
Внимание:
Газовый регулятор давления обычно производится азотом (N)2) Маркировка
Единицей давления газа является: Torr (Tor); mbar (мбар); КПА (кПа)
Стандартное состояние определяется как: температура - 27315K (0°C); Давление воздуха - 101325 Па (760 мм Hg)
В продуктах электронных ПК Huacheng единицы SCCM и "mL / min, 0°c, 1atm" эквивалентны, единицы SLM и "L / min, 0°C, 1atm" эквивалентны
F.S. (Full Scale) - значение полного диапазона; S.P. (Set Point): Установить значение с фиксированной точкой