Контроллер давления PC300

ДоговариваемыйОбновление на01/07

Модель

Природа производителя: Производители

Категория продукта

Место происхождения

Онлайн Консультация

Обзор

Контроллер давления PC300 - это регулятор давления с полной функцией расходомера, который в основном используется в полупроводниковой области, например, в системе охлаждения на задней панели кристалла, для управления давлением охлаждающих газов на задней панели кремния, таких как гелий, азот, аргон и другие специальные газы.

Подробности о продукте

Инновации.

Полная цифровизация продукции

Продукт использует микропроцессор, с высоким интеллектом, высокой надежностью, удобным обслуживанием преимуществ.

Технология двойного управления

Продукт использует технологию двойного управления для достижения высокоотзывчивых, высокоточных показателей производительности.

область применения

полупроводниковая ИС

Полупроводник - инкапсуляция

Полупроводниковый дисплей

Полупроводниковое освещение

Полупроводниково - микроэлектромеханическая система

Мощный полупроводник

Соединения полупроводников

Технические показатели

модель	ПЦ300
Полный расход	(10 20 50 100 200 500 5000) СККМ
Полное давление	(10 20 50 100 долл. США)
Режим управления	Нижний поток
точность управления давлением	±0,2% от F.S.
Контроль повторяемости	±0,2% от F.S.
время отклика	<1,0 секунды
Диапазон рабочих температур	10 ℃ до 50 ℃
Тип клапана	Обычно закрыты
Коэффициент утечки	<1х10^-12(SCC/SEC He)

Похожий продукт рекомендовать