-
Электронная почта
research@resemtech.com
- Телефон
-
Адрес
Район экономического развития Куньшань, провинция Цзянсу, Baifu Road, 88, C305
& lt; & lt; Куинсан рисерч прецизион инструментс лтд. & gt; & gt;
research@resemtech.com
Район экономического развития Куньшань, провинция Цзянсу, Baifu Road, 88, C305
Соответствующие параметры:
| Проекты | Описание |
| Разрешение SE | 3.0nm (30kV), Режим высокого вакуума / 10 нм (3 кВ), режим высокого вакуума |
| Разрешение BSE | 4.0nm (30kV), Режим низкого вакуума |
| Увеличение | x5 ~ x300,000 |
| напряжение ускорения | 0.3 ~ 30 kV |
| Низкий вакуум | 6 ~ 270 Pa |
| Максимальный размер образца | Диаметр 200 мм |
| Стол для образцов | Тип I |
| X | 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm |
| Y | 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm |
| Z | 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm |
| R | 360o 360o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| T | -20o~ +90o -20o ~ +90o |
| Максимальная высота образца | 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) |
| Тип драйвера | Ручной пятиосный привод |
| Лампа | вольфрамовая проволока |
| Линия объектива | Передвижной объектив с 4 отверстиями |
| Смещение ствола | Постоянное смещение, ручное смещение и автоматическое смещение 4 |
| Детектор | детектор вторичных электронов |
| Анализировать местоположение | WD=10mm, TOA=35o |
| Контроль | Мышь, клавиатура, ручная ручка |
| Автонастройка | Автоматическое насыщение нити накаливания, автоматическое смещение 4, автоматическая настройка пучка на среднем и автоматическом пучках, автоматическое замыкание оси, автоматическая фокусировка и пассивация, автоматический контраст яркости |
Подробное описание
1. S - 3400N обладает мощными автоматическими функциями, включая автоматическое насыщение проволоки накаливания, смещение 4, автоматическую настройку среднего и автоматического пучка,
Автоматическая фокусировка и пассивация осей, автоматический контраст яркости и так далее.
При низком напряжении ускорения 3 кВ гарантируется разрешение 10 нм.
3. Новый 5 - сегментный высокочувствительный полупроводниковый зонд обратного рассеяния.
4. Тип S - 3400N II имеет пятиосный моторный стол с углом наклона до - 20 ~ + 90 градусов, образец до 80 мм.
Хранилище для анализа образцов может одновременно устанавливать EDX, WDX и EBSD.
6. Вакуумная система использует турбомольные молекулярные насосы, чистые и эффективные